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系統用于硅晶片多線切割機的切削液過濾與冷卻,過濾的雜質顆粒的直徑一般在10~20微米之間。切削液流量不小于200L/min。切削液冷卻后的溫度為20℃±2℃。系統出水口處揚程大于10米。zui小可過濾直徑10微米的固體顆粒。每班工作時間按連續4小時計算,每小時產生約3公斤雜質,體積約1.5L。過濾系統無易損件,清洗、維護方便。系統水箱容積大于500L,分為回流切削液區和供液凈化存儲區,做重度防腐處理。回流口不銹鋼過濾網尺寸應保證zui高流量200L/min的切削液順利通過,應拆卸方便、易于清洗。回流口濾網上方有蓋板,蓋板上有回流口.回流口蓋板、濾網依次取下后,可進行回流箱的手動清洗工作,供液箱也應具備此類蓋板,方便清洗、維護。回流箱上安裝有攪拌電機,攪拌電機不受切削液系統總啟動、停止開關控制,而由專門的啟動、停止按鈕控制,可以在切削液提升泵停止工作后單獨運行,防止回流箱硅粉沉積。回流箱安裝有液位計,當液位低于警戒值時,可自動控制一級過濾提升泵停止運轉,防止水泵吸入空氣。回流箱上有一個溢流回流口,用以接納因管路內流量、壓力等變化而從切割設備溢流管路流回的切削液。采用1英寸自鎖型快速接頭。煙臺云帆過濾系統有限公司提供的整套過濾系統采用4級過濾方式,一級粗過濾采用100~150目不銹鋼濾網,用來過濾在切割過程中產生的尺寸稍大的硅碎片,二級過濾采用精度80微米反沖洗不銹鋼滾筒過濾,三級采用渦旋分離器過濾精度15-20微米,四級采用雙聯精密過濾器做精密處理,過濾精度5-10微米。具備液位、溫度、流量自動監控及報警功能。采用工業用內置式油冷卻機作為冷卻裝置,對凈化存儲區的切削液進行溫度控制。制冷機制冷量30000瓦。外部供電電壓為三相380V。在系統出水口配置切削液溫度、流量監測裝置,并預留流量監測器與切割機主機控制系統相連的端口。