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FYM15B-7L雙面研磨拋光機

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更新時間:2022-10-22 14:52:58瀏覽次數:593

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產品簡介

本機主要用于硅片、砷化鎵片、陶瓷片、石英晶體及其它半導體材料的雙面高精度研磨或拋光,也適用于其它金屬、非金屬、光學玻璃、藍寶石等硬、脆、薄材料的雙面高精度研磨或拋光。

詳細介紹

一、設備簡介

本機主要用于硅片、砷化鎵片、陶瓷片、石英晶體及其它半導體材料的雙面高精度研磨或拋光,也適用于其它金屬、非金屬、光學玻璃、藍寶石等硬、脆、薄材料的雙面高精度研磨或拋光。

二、設備特點

1.機身結構優化設計,機架采用龍門式結構,剛性好,承壓能力強,能滿足高負載下高速穩定運行。

2.電機均采用變頻電機且使用變頻調速器控制,能在有效設置范圍內以任意速度工作,實現平穩的停止、加速、減速及換向,能有效的防止薄脆工件破碎。

3.游星輪傳動采用柱銷齒結構,傳動平穩無沖擊,游星輪使用壽命長。

4.上盤下降過程中,設置了快降和緩降,緩降行程在氣缸行程范圍內可調,緩降速度也可根據工件抗沖擊程度自由調整。

5.本機通過精密電氣比例閥調整控制加工壓力,可根據不同加工工藝要求,設定加工壓力,壓力控制精度高。

6.采用*的PLC系統,觸摸屏操作面板,所有工藝參數及工藝配方可在觸摸屏上進行修改設置,可根據設定好的工藝參數自動完成整個加工過程。

7.齒輪及各運動部位采用集中潤滑裝置,潤滑良好,整機使用壽命長。

8.上盤升降設計安全裝置,在上盤升到頂時能有效的保護上盤不突然落下。

質量保證及售后服務:

1.質保期限:從驗收之日起12個月但不超過發貨之日起15個月。

2.在產品質量保證期內,如出現產品質量問題,買方有權隨時要求賣方免費維修或更換;如屬買方人員使用不當或自行改裝導致設備不能正常使用,不在保固范圍內,買方應承擔賣方人員的差旅費和材料成本費用。

3.易損件不在質保范圍內。

主要技術參數:

序號

項目

規格參數

1

上研磨盤尺寸

Ø1070×Ø500×40(mm)

2

下研磨盤尺寸

Ø1070×Ø500×40(mm)

3

游星輪數量

7

4

工件直徑尺寸

Ø280(mm)

5

工件厚度

0.3-20(mm)

6

下研磨盤轉速

0-60(rmp)

7

加工壓力

800Kg

8

主氣缸

160×400

9

下盤電機

7.5Kw

10

上盤電機

5.5Kw

11

砂泵電機

250w

12

設備總功率

14Kw

13

外形尺寸

1750×1250×2570(mm)

14

設備質量

≈3450Kg

安裝條件:

序號

項目

指標要求

1

環境

室內地面平坦、無振動源

2

水源

純水或自來水

3

電源

三相五線380V

4

壓縮氣源

0.6~0.8Mpa

5

溫度

0℃-45

6

對濕度

≤95%

主要配置:

序號

項目

品牌

1

氣缸

亞德客

2

減速器

恒星

3

軸承

哈、瓦、洛

4

可編程控制器〔PLC

西門子

5

人機界面

昆侖通態

6

精密電氣比例閥

亞德客

7

電磁閥

亞德客

8

變頻器

沃森

9

低壓電器

品牌

隨機備附件及工具:

序號

項目

規格參數

備注

1

工具

內六角扳手一套,一字/十字螺絲刀各一把,10"活動扳手一件

5臺配1

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