測試結(jié)構(gòu)

斐索干涉臥式結(jié)構(gòu)

測試光源

進(jìn)口氦氖激光光源，λ=632.8nm

測試口徑

φ150mm（6″）

數(shù)字高速相機(jī)

分辨率: 1K×1K pexil，幀速：90Hz

光學(xué)變焦

1-6X光學(xué)變倍

調(diào)焦

調(diào)焦光瞳±3.5m

對準(zhǔn)方式

兩點對準(zhǔn)

對準(zhǔn)視場

±2°

解相方式

機(jī)械相移解相

電腦

DELL品牌電腦

操作系統(tǒng)

Windows 10

系統(tǒng)軟件

QPS快速采樣相移分析系統(tǒng)

輸出數(shù)據(jù)：峰谷值（PV值）、標(biāo)準(zhǔn)偏差（RMS）、等高圖、三維立體圖、干涉條紋圖、X-Y剖面圖、MTF光學(xué)傳遞函數(shù)、PSD功率譜密度、PSF點擴(kuò)散函數(shù)、波前梯度等；

其他功能：數(shù)據(jù)保存、數(shù)據(jù)打印、測量區(qū)域圖形的設(shè)定；

數(shù)據(jù)格式：.dat，XYZ等標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)格式 。

擴(kuò)展功能：子孔徑拼接測試

標(biāo)準(zhǔn)鏡

PV值：λ/20；通光口徑：Φ150mm，行業(yè)通用卡口結(jié)構(gòu)

系統(tǒng)重復(fù)性精度

RMS：λ/1000