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超光滑表面無損檢測儀項目績效評價會簡報
閱讀：218 發布時間：2022-8-312021年12月9日，組織項目研制單位、推薦單位以及國內相關行業的專家采用視頻會議的方式，對以成都太科光電技術有限責任公司牽頭單位聯合研制的 “超光滑表面無損檢測儀"項目進行了項目績效評價。專家組審閱了相關材料，聽取了項目承擔單位對項目總體的情況進行匯報，觀看了項目儀器的測試視頻。經過專家組的質詢和討論，一致認為該項目研制了φ150mm、測量精度20nm的超光滑表面無損檢測儀產品，并擴展了φ300mm立式超大口徑超光滑表面無損檢測儀產品樣機以及多功能系統分析軟件，實現了實際應用。該項目完成了任務書規定的項目任務書目標和考核指標，達到了預期目標，通過了項目績效評價。
圖1 項目績效評價視頻會議現場
以成都太科光電技術有限責任公司為牽頭單位，協同國內多家技術實力雄厚的大學、研究所和企業的項目團隊研制的超光滑表面無損檢測儀，該儀器主要用于高精度非接觸測量，可以廣泛的應用于高速集成電路、微電子集成電路、光電集成電路、半導體制造、半導體照明以及太陽能新能源電池等基片TTV、彎曲度、表面質量等關鍵參數的快速檢測，還可應用于大型現代光學工程系統，如大型高功率固體激光系統、極紫外光刻、航空航天空間光學等領域中大口徑元件面形、材料特性等參數測量。
該項目的研制成功，可以實現超光滑表面無損檢測儀器國產化，替代國外同類產品，打破國外公司的技術壟斷和價格壁壘。項目儀器的研制將帶動國內相關產業發展，超光滑表面無損檢測儀將在半導體照明、太陽能新能源，高速集成電路、微電子集成電路、光電集成電路以及國家重大光學工程等相關行業和領域得到廣泛的應用。改變現在采用的接觸式測量方式，大大提高檢測精度和測試效率，對于這些應用行業和領域具有巨大的帶動和促進作用。項目產品如下圖：
圖 2 儀器產品樣機成果
項目形成了高精度面形測試與寬范圍基片表面參數無損檢測、多功能測試兼容的超光滑干涉測試智能分析、12英寸晶圓參數測量等創新成果，申請了發明40項，發明19項，登記軟件著作權3項，發布企業標準3項，形成了成套工藝質量文件，相關產品形成了市場銷售。組織管理規范，管理制度健全，技術檔案基本完整，發揮了“兩組一委"的作用，培養了相關技術人員，形成了一支具有儀器研發、設計、集成、銷售、服務能力的綜合團隊。
項目牽頭單位成都太科光電技術有限公司是國內專業從事集高精度光學干涉檢測儀器研發、生產和銷售于一體的。公司具有一支從事光學設計、軟件開發、機械設計、電子控制等專業齊全、產品研制經驗豐富的專業研發與產業化團隊。
同時感謝四川省、成都市和成都市高新區人才局等地方政府，對成都太科光電技術有限責任公司承擔的《超光滑表面無損檢測儀》項目都給予了極大的關注，對項目的發展也給與了極大的政策支持，保障了本項目的順利完成！