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晶圓搬運機器人

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  • 型號 TTS20
  • 品牌
  • 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
  • 所在地

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更新時間：2022-07-07 17:53:10瀏覽次數(shù)：656

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產(chǎn)品簡介

TTS系列可以用一臺機器人在沒有走行裝置的情況下對應(yīng)從2FOUP到3FOUP的EFEM。具備川崎自主開發(fā)的驅(qū)動部分，能夠?qū)崿F(xiàn)高精度、高剛性的動作。 同時，由于采用了上下軸伸縮式的結(jié)構(gòu)，因此無論是想將物品搬至高處或是低處，此設(shè)備都能做到。

詳細介紹

TTS系列可以用一臺機器人在沒有走行裝置的情況下對應(yīng)從2FOUP到3FOUP的EFEM。具備川崎自主開發(fā)的驅(qū)動部分，能夠?qū)崿F(xiàn)高精度、高剛性的動作。 同時，由于采用了上下軸伸縮式的結(jié)構(gòu)，因此無論是想將物品搬至高處或是低處，此設(shè)備都能做到。
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