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詳細摘要： TTS系列可以用一臺機器人在沒有走行裝置的情況下對應從2FOUP到3FOUP的EFEM。具備川崎自主開發的驅動部分，能夠實現高精度、高剛性的動作。 同時，由于采...

詳細摘要： NTS系列可以用一臺機器人在沒有走行裝置的情況下對應從2FOUP到3FOUP的EFEM。具備川崎自主開發的驅動部分，能夠實現高精度、高剛性的動作。

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