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晶圓激光應力誘導切割設備

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更新時間:2021-11-01 12:39:18瀏覽次數:606

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產品簡介

本設備是利用應力誘導切割技術對Mini LED 晶圓進行切割加工

詳細介紹

本設備是利用應力誘導切割技術對Mini LED 晶圓進行切割加工


◆ 片速度快,切割過程無暫停

◆ 產能高、良率高,設備穩定

◆ 設備無需任何耗材,使用成本優勢明顯


激光種類:半導體泵浦皮秒激光器

激光功率:≥1W

冷卻方式:封閉式循環水冷

X軸:行程360mm,解析度0.1um

Y軸:行程300mm,解析度0.1um

Z軸:行程15mm,解析度1um

θ軸:行程±60°,解析度0.0001°

劃片速度≤1000mm/s

加工4英寸產能:15pcs/h@10*30mil4英寸)

劃片尺寸:2英寸、4英寸(可升級6英寸)

雙焦點功能:選配

應用于LED照明行業的藍寶石材料襯底的晶圓片直線切割

適用于其他行業藍寶石材料的直線切割

 

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