您好, 歡迎來到機(jī)床商務(wù)網(wǎng)！ 登錄| 免費(fèi)注冊| 產(chǎn)品展廳| 收藏商鋪|
當(dāng)前位置：武漢華工激光工程有限責(zé)任公司>>專用設(shè)備>>半導(dǎo)體行業(yè)專業(yè)設(shè)備>> 晶圓激光開槽設(shè)備
| 參 考 價(jià) | 面議 |
產(chǎn)品型號(hào)
品 牌
廠商性質(zhì)生產(chǎn)商
所 在 地
聯(lián)系方式：張經(jīng)理查看聯(lián)系方式
更新時(shí)間：2022-06-28 09:30:13瀏覽次數(shù)：891次
聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來自 機(jī)床商務(wù)網(wǎng)
利用超短脈沖加工，減少崩邊、脫層和熱影響，采用高精度視覺定位，保障開槽位置
基于空間光調(diào)制技術(shù)，整形光斑尺寸和形狀可調(diào)節(jié)，且激光能量利用率高，響應(yīng)快
集成保護(hù)液涂覆、晶圓開槽和清洗模塊
| 內(nèi)容 | 主要技術(shù)參數(shù) | |
| 激光器參數(shù) | 中心波長 | ~532nm |
| 加工頭 | 空間光整形模塊 | |
| 加工性能 | 有效工作行程 | 300x400mm(選配) |
| 重復(fù)定位精度 | ±1μm | |
| 視覺定位 | 自動(dòng)視覺定位 | |
| 開槽深度 | ≥10µm | |
| 其他 | 晶圓尺寸 | 8 inch （可兼容12inch ） |
| 工藝流程 | 保護(hù)液涂覆— 晶圓開槽—清洗 | |
| 加工對(duì)象 | Low- k晶圓 、硅基GaN 等 | |
請(qǐng)輸入賬號(hào)
請(qǐng)輸入密碼
請(qǐng)輸驗(yàn)證碼
以上信息由企業(yè)自行提供，信息內(nèi)容的真實(shí)性、準(zhǔn)確性和合法性由相關(guān)企業(yè)負(fù)責(zé)，機(jī)床商務(wù)網(wǎng)對(duì)此不承擔(dān)任何保證責(zé)任。
溫馨提示：為規(guī)避購買風(fēng)險(xiǎn)，建議您在購買產(chǎn)品前務(wù)必確認(rèn)供應(yīng)商資質(zhì)及產(chǎn)品質(zhì)量。
會(huì)員1.png)
機(jī)床商務(wù)網(wǎng)