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晶圓等離子清洗機（等離子灰化/去光刻膠/聚合物剝離/預處理/介電質刻蝕
在線式自動真空等離子/進口等離子/攝像頭模組/芯片支架/芯片框架
線性等離子清洗機（低溫等離子清洗機 寬幅氮氣等離子 寬幅plasma
| 型號（Model） | R400-Plasma |
| 電源（Power supply） | 220V/AC,50Hz |
| 功率（Power） | 4set*400W/600W/1000W25Hz(Option) |
| 有效處理寬幅（Processing width | 50-1600mm(Option) |
| 有效處理高度（Processing | 1-15mm |
| 處理速度（Processing speed） | 0-5M/min |
| 噴頭數量（Number） | 4(Option) |
| 工作氣體(Gas) | Compressed Air(o.4mpa) |
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