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OKUMA大隈MU-8000V 5軸控制立式加工中心解決方案 半導體制造業

2025年03月28日 09:49點擊:30來源:同邦數控科技(蘇州)有限公司>>進入該公司展臺

半導體制造業

隨著人工智能、物聯網、汽車等各個領域的技術進步,全球對半導體

的需求與日俱增。制造這些半導體的半導體制造設備中使用的零部件

形狀千差萬別,并且要求高精度和表面質量。經常需要切割鋁材、使

用難以加工的脆性材料,需要的機械加工。

OKUMA擁有滿足這些需求的先進的加工機,并針對各工件提出了優異

的加工技術以及解決方案。

OKUMA大隈解決方案  半導體制造業

密封件

蝕刻設備等半導體制造設備零部件

材質:A5083

使用車削功能進行高質量面加工


通過動態傾斜車削實現高效車削加工

在保持刀尖角度一定的條件下,旋轉傾斜軸(A軸)進行車削

·還可以在避免工件與刀具干涉的同時加工內徑底切

·通過用同一刀具加工內徑底切部,消除接合面的高低差,實現提高加

工面質量

OKUMA大隈解決方案  半導體制造業

自動托板交換(APC)實現工序整合

通過APC實現省人化和高效的工件交換

·需要正反面等多工序加工的工件一臺機床即可完成

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實現該處理的產品MU-8000V 5軸控制立式加工中心

OKUMA大隈解決方案  半導體制造業



  • 空間精度的革新

  • 具有高剛性的耳軸工作臺,支撐著高精度5軸加工

  • 依靠5軸加工的高隨動性,實現高質量的加工表面

    ●兩端支撐的高剛性耳軸工作臺

    ●依靠滾珠絲杠的冷卻裝置(標準規格),在確保高精度的同時實現高隨動性

    實現高精度5軸加工的分度精度(MU-5000V 實測值)

    ●分度精度

    ●高速動作

    OKUMA大隈解決方案  半導體制造業
    • ?A軸/C軸 90°夾緊/放松分度時間: 1.0秒/1.2秒

    • ?A軸分度精度/分度復位精度: ±0.68秒/±0.40秒

    • ?C軸分度精度/分度復位精度: ±0.78秒/±0.14秒


  • 擅長切削的5軸加工機

  • 突破5軸加工機的極限
    以令人驚嘆的加工能力完成高效率加工

  • MU-5000V、MU-6300V 實測值([ ]:MU-6300V時)

  • OKUMA大隈解決方案  半導體制造業
    • 主軸轉速:895min-1

    • 切削速度:225m/min

    • 進給速度:2,250mm/min

    • 切削寬度×切深:56×4mm

    • 面銑加工能力:504cm3/min(S45C)

    • ●?80面銑刀 8刃(涂層)

  • OKUMA大隈解決方案  半導體制造業
    • 主軸轉速:4,000min-1

    • 切削速度:251m/min

    • 進給速度:4,800mm/min[2,800mm/min]

    • 切削寬度×切深:7×20mm[12×20mm]

    • 立銑加工能力:672cm3/min(S45C)

    • ●?20粗加工立銑刀 7刃(硬質合金)

  • 可與車床媲美的車削能力實現工序集約

  • 車削加工能力:3mm2(S45C)


    • 加工直徑:?164mm[?250mm]

    • 切削速度:130m/min (工作臺轉速:252min-1

    • 進給速度:0.6mm/rev

    • 切深:5mm

    ※登載的數據為實績值,由于規格、刀具、加工條件等的不同,所得數據可能與登載的數據不同。

OKUMA大隈解決方案  半導體制造業
  • 5軸加工追求的良好的能見性和可操作性

  • 到達加工區域非常方便


    • OKUMA大隈解決方案  半導體制造業
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    • 更換工裝、加工時易于確認刀尖的機床結構

      ●考慮作業性的工作臺、主軸、操作面板的優化布局

    • 便于作業的腳踏臺

      ●無需在意腳下的寬大腳踏臺可消除作業緊張狀態

    • 加工室內可視性良好的大型窗



  • 確保寬大的加工范圍,
    在耳軸處于分度狀態下換刀

  • 工作臺呈各種角度傾斜狀態下,刀具也可到達工件端,可進行廣范圍的5軸加工。由于可在耳軸處于分度狀態下進行換刀,因此可實現循環時間的削減及加工精度的提高。

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