激光干涉儀，以光的波長為已知總長度，使用邁克耳遜干涉系統精確測量偏移的常用尺寸測量。
該設備的管理維護方法：
1、激光干涉儀應避免出現在環境溫度變化大、有風、濕冷區域環境下精確測量，這個時候檢驗結果將接收到非常大的不良影響。
2、該設備需要定人保管，機械加工技術組相關工作人員專人常用，專人檢驗，別人不可以任意使用，可以預防毀壞，減少精確度。

3、激光干涉儀要設定專庫儲存，區域環境規定干燥、透風、抗震、防霧鏡、防污、防銹處理。儀器設備應維持空氣干燥。

4、對儀器設備要小心輕放，避免出現明顯的沖擊性震動，安裝使用儀器設備前要查驗三腳架的結實性，全部操作全過程中相關工作人員不可以離去儀器設備，避免 意外事故出現。
5、主要負責人要每個月對激光干涉儀的電子元件進行核對，并查詢是不是有毀壞、損壞等異常現象，將檢查報告給予辦理備案。
6、干涉儀儀器設備所適用的筆記本為常用筆記本，該筆記本不可以借出去，也無法安裝使用一切其他軟件，避免 軟件矛盾和病毒感染，確保精確測量信息的精確，可以預防精確測量內容丟失。
7、精確測量相關工作人員在取放干涉儀前，首先需要填好激光干涉儀使用申請表，填好申請表后，主要負責人首先需要查驗干涉儀電子元件詳細程度，電子元件是不是保持良好。