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超精加工是用細粒度的油石條以較低的壓力和切削速度對工件表面進行光整加工，加工中有3種運動:工件低速旋轉運動：超精頭軸向進給運動：油石條往復振動。超精加工大致可分為4個階段:
1.強力切削階段
超精加工時油石條磨粒細，壓力小，工件與油石條之間的潤滑油易形成油膜，但開始時，由于工件表面粗糙，少數凸峰單位面積壓力很大，破壞了油膜，故切削作用強烈。
2.正常切削階段
當少數凸峰磨平后，接觸面積增加，單位面積壓力降低，致使切削作用減弱而進入正常切削階段。
3.微弱切削階段
隨著接觸面積逐漸增大，單位面積壓力更小，切削作用微弱，細小的切削形成氧化物嵌入油石條的空隙中，因而油石條產生光滑表面，具有摩擦拋光作用而使工件表面拋光。
4.自動停止切削階段
工件磨平后，單位壓力很小，工件與油石條之間又形成油膜，不再接觸，故切削作用停止。