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1、 測量點數量及位置
溫度波動度測量點為設備指示點，溫度均勻度測量點數量及位置與溫度偏差相同。
2、 檢定步驟
溫度波動度和溫度均勻度的檢定步驟與溫度偏差同時進行。
3、 數據處理與計算
在進行溫度偏差計算的同時，計算溫度波動度和溫度均勻度。
（1） 溫度波動度計算公式：
△ Tf=±（Tfmax-Tfmin）/2
式中：△Tf------溫度波動度，℃；
Tfmax------設備指示點在30min內的實測zui高溫度值，℃
Tfmin------設備指示點在30min內的實測zui低溫度值，℃
（2） 溫度均勻度計算公式：
（3） 15
△Tu=【∑（Tjmax-Tjmin）】/15
J=1
式中：△Tu------溫度均勻度，℃；
Tjmax------各測量點在第j次測量中的實測zui高溫度值，℃；
Tjmin------各測量點在第j次測量中的實測zui低溫度值，℃。
北京鴻達天矩 技術部供稿