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測量平板的平面度的檢驗，和以前的標準有了不一樣的概念，使用中不再一味的追求測量平臺的接觸點，一般的使用可以把側重點放在平面度的檢驗上即可，由于現在的工件和測量平臺的規格不斷的增大，所以工件對測量平臺的要求也在發生變化，測量平臺的接觸點的多少和測量平臺的加工成本有著很大的關系，因此，明智的用戶已經不再刻意的要求測量平臺接觸點了。
測量平板的技術參數主要包括：測量平板的承載、測量平臺的長寬高、測量平板的表面精度、測量平臺的重量、測量平臺的材質要求等等。
測量平臺的材質：可以分為球鐵和灰鐵兩類。球鐵測量平臺的使用比較少，一般使用在規格較小，精度要求較高的測量平臺。
| 測量平板規格（長×寬）mm | 測量平板精度等級 | ||
| 1級 | 2級 | 3級 | |
| 平面度公差（um） | |||
| 200×200 | 10 | 20 | 50 |
| 300×200 | 12 | 24 | 60 |
| 300×300 | 12 | 24 | 60 |
| 300×400 | 12 | 24 | 60 |
| 400×400 | 12 | 24 | 60 |
| 400×600 | 14 | 28 | 70 |
| 500×500 | 14 | 28 | 70 |
| 500×600 | 14 | 28 | 70 |
| 500×800 | 16 | 32 | 80 |
| 600×800 | 16 | 32 | 80 |
| 600×900 | 16 | 32 | 80 |
| 1000×750 | 18 | 36 | 90 |
| 1000×1000 | 20 | 39 | 96 |
| 1000×1200 | 20 | 40 | 100 |
| 1000×1500 | 24 | 48 | 120 |
| 1000×2000 | 26 | 52 | 130 |
| 1500×2000 | 28 | 56 | 140 |
| 1500×2500 | 32 | 64 | 152 |
| 1500×3000 | 70 | 174 | |
| 2000×3000 | 74 | 184 | |
| 2000×4000 | 88 | 219 | |
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