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RBZ-SG系列精密Z軸

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產品型號

品牌AUSPRECISION

廠商性質生產商

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更新時間：2024-04-28 11:35:34瀏覽次數：483次

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北京瑞邦精控科技有限公司

經營模式：生產廠家

商鋪產品：5條

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產品簡介

產地	國產	應用范圍	打磨,銑削,清洗,拋光/去毛刺,服務型,其他應用

RBZ-SG系列精密Z軸
產品特點
垂直平升行程可達50mm，整體尺寸結構緊湊，速度可達20mm/s，負載60kg
高精度交叉滾柱導軌，無槽無刷力矩電機，低膨脹系數光柵有助實現納米級微動步距高可靠性驅動機構，使用壽命長

詳細介紹

1-8-1，

4-566，

8-70-2。

RBZ-SG系列精密Z軸應用領域

RBZ-SG系列是一款長行程的精密平升Z軸，具有納米級微動步距，高動態性能，結構緊湊，用于晶圓加工及檢測、飛秒激光加工、測試測量、生物工程等高精度行業。

RBZ-SG系列精密Z軸結構特點

直驅結構，承載能力大，在一個長行程的移動范圍，保持盡可能低的高度，優化阿貝誤差影響，有助于提高整體精度性能。抗蠕變交叉滾柱導軌垂直導向，為提升直線度、Pitch Roll Yaw指標提供創新解決方案。

直驅結構

力矩電機作為直驅方式，沒有皮帶、齒輪、蝸輪蝸桿和彈性聯軸器中間傳動環節，RBZ-SG平升Z軸直接托舉負載運動，相對側升結構Z軸，無需轉接板，負載重心布置在Z軸中心，有利于運行過程減小俯仰和偏擺的影響。

光柵閉環反饋

RBZ-SG平升Z軸為雙閉環反饋，直線光柵和圓光柵相結合的雙反饋方式，直接測量工件移動時的誤差，提高了精度性能。

規格指標