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ATLEX-300-I/ATLEX-500-I準分子雷射

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更新時間：2023-10-13 10:01:50瀏覽次數：337次

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ATLEX-300-I/ATLEX-500-I準分子雷射 特點：
  • Soft corona preionization
  • HV-solid state pulser
  • Laser head volume <>
  • TMC (Total-Metal-Ceramic) Vessel
  • Integrated vacuum pump & halogen filter
  • Air Cooled / Optional Liquid Cooled, active thermal management
  • RS-485, RS232, USB and fiber optic Interface for system integration
  • Flushable optics holder
  • Energy stabilization mode
  • Meets European CE-standard
  • RoHS compliance
ATLEX-300-I/ATLEX-500-I準分子雷射 應用：
  • Micromachining
  • Laser ablation
  • Medicine (refractive surgery)
  • Spectroscopy
  • Metrology
ATLEX-300-I/ATLEX-500-I準分子雷射 主要參數
ATLEX-300-I Specifications
Gas Medium
F2 ArF KrF XeCl XeF Units
Wavelength
157 193 248 308 351 nm
High Voltage Switching Technique
Solid State Switch
Max. Pulse Energy 1
1 10 15 8 7 mJ
Max. Average Power
0.2 / 0.5
  2.4 / 4.0
  4.0 / 6.5
  2.0 / 3.0
  1.7 / 2.5
  W
Max. Rep Rate
 300 / 500
  Hz
Pulse Duration 2
5 – 8 ns
Beam Dimensions 2 (V x H)
4 x 6 mm
Beam Divergence 2 (V x H)
1 x 2 mrad
Energy Stability (standard deviation)
< 3=""> %
Dimensions (LxWxH) click here for details
540 x 470 x 370 mm
Weight
60 kg
Cooling
Cooling Air / Optional Liquid  
Power requirement
230 VAC / 6,3 A / 1 phase / 50-60 Hz  
All specifications are typical data and subject to change without notice due to product improvements.
  • Measured at low rep.rates; allow 10% reduction of output energy and power for laser equipped with stabilization mode.
  • Typical value, FWHM

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