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激光清洗系統

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參考價: ￥ 10000000

訂貨量: ≥1 臺

具體成交價以合同協議為準

產品型號ZYJG-2000

品牌其他品牌

廠商性質其他

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更新時間：2023-12-01 17:12:14瀏覽次數：1237次

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準源激光技術河北有限公司

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產品簡介

產地	進口	激光器類型	其他激光器

專業的全自動芯片PAD管腳清洗設備，穩定性好、加工質量好、成品率高、加工效率特別快。
Ex-light是新一代準分子激光清洗系統。通過光束傳導、勻化、投影技術，使激光均勻照射到材料表面，對材料進行紫外激光加工。該系統結構設計緊湊，集成度高，光路穩定實用，光斑勻化效好，傳輸效率高，增強樣品表面激光能量密度，提高加工質量和效率。

詳細介紹

激光清洗系統

應用行業：

1、微電子行業：晶圓面板激光清洗、電路板清洗；

2、OLED微型顯示器芯片：芯片管腳PAD焊線前激光清洗、液晶顯示器清洗；

3、文物藝術品保護：無損還原；

4、汽車產業：各種焊接處焊后激光清洗；

5、其它：材料表面各種雜質、氧化物、微小顆粒物、油污去除。

技術特點：

1、靜態氣體壽命 >30天；

2、激光器壽命 >20億次脈沖；

3、多種光路方案，可定制；

4、反射/透射照明；

5、X，Y位移臺安裝在剛性花崗巖基座上，線性驅動，1μm分辨率；

6、電動焦點控制（沿Z軸）；

7、配有同軸和離軸相機，模式識別軟件可選；

8、快速響應時間，易于操作的軟件；

9、同軸機器視覺示意圖，所見即所得。

光束傳播特點：

1、能量控制 10-80% ；

2、投影縮倍4x-20x ，可定制；

3、工作距離>25mm；

4、目標能量密度 0.25-10J/cm2 ；

5、同軸顯微成像；

6、光斑勻化系統。

軟件功能：

1、圖形化加工路徑顯示；

2、晶圓自動聚焦、自動對位；

3、大視野晶圓導航圖；

4、激光參數設定及調試；

5、加工進程控制、中斷自動恢復；

6、芯片參數導入；

7、壞點剔除功能；

激光清洗系統參數：

波長	193nm /248nm
脈沖寬度	5-10 ns
單光斑加工面積	＞400um x400um
光學分辨率	1um
能量密度	>10J/cm2
脈沖穩定性	≤2%
脈沖重復頻率	1-1000Hz
系統框架	大理石光學基座以及金屬框架結構
機器視覺	同軸照明/觀察，所見即所得
投影物鏡	紫外超長工作距離物鏡
掩膜版位移臺	100mm x100mm，定位精度:±1um
Z軸電動平臺	50mm行程，±1μm重復定位精度
衰減器	電動可調、調節范圍15%-80%
控制軟件	LPCPro3D自動加工處理軟件