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壓阻式壓力傳感器的熱零點漂移問題的研究

2023-3-16  閱讀(811)

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  壓阻式壓力傳感器零點漂移的表示,由于壓敏電阻制造工藝的不一致性,因此溫度零點漂移系數不是一個定值,它在不同的溫度區間有不同的值。通常也可以規定為某個溫度范圍內零點輸出占滿量程輸出的比例(±%)或最大溫度零點系數(即零點輸出溫度變化的最大斜率)。一般該系數取值不能超過傳感器精度值。
 
  零點熱漂移產生原因的半導體理論分析
 
  只有當電阻的摻雜濃度和阻值一致時才能使電橋的零點輸出電壓小,零點熱漂移也小,這對提高傳感器的性能十分有利。但是擴散時摻雜分布不易做到均勻,因此要求壓敏電阻條越接近越好,越短越好。
 
  零點熱漂移產生原因的電路分析
 
  理想情況下,組成惠斯通電橋的四個擴散電阻的阻值應該是相等的。零點溫度漂移的產生是由于擴散電阻值隨溫度變化引起的。在一定的溫度范圍內,電阻值隨溫度的上升而增加,即擴散電阻的溫度系數R為正值。
 
  熱零點漂移的補償技術
 
  從整體上來分,壓力傳感器的零點漂移補償可分為硬件補償和軟件補償兩大方向。
 
  硬件零點補償方法
 
  對壓力傳感器而言,硬件補償方法有在橋臂上串、并聯恰當恒定電阻法,橋臂熱敏電阻補償法,橋外串、并聯熱敏電阻補償法,雙電橋補償技術,三極管補償技術等。
 
  軟件補償零點漂移方法
 
  在信號采集過程中,在觸發信號未發生到觸發采集以及在采集結束后的這些時間段里,輸入的信號為零,輸出的信號不為零,這種采集到的輸出數據以隨機噪聲的形式存在,對于數據的計算與處理是沒有意義的。我們定義這段時間里采集到的信號值稱之為零點漂移。所采取的軟件方法有:多項式擬合規范法。由于在實際測量中,壓力傳感器所測量的溫度、壓力等物理量不會與輸出值是嚴格的線性關系,因此其函數關系常是多項式形式。多項式可用于非線性信號的擬合,關鍵在于求解其各項系數:RBF神經網絡法?;驹恚和ǔA泓c溫度補償軟件算法中公式法比較復雜,擬合精度常會受到限制。人工神經網絡法具有使用的樣本數少、算法簡單、具有任意函數逼近能力、應用前景良好。此外軟件法還包括查表法、插值法等。
 
  還有從傳感器本身的特點出發,采用特殊技術,如改變摻雜濃度等或采用自校準技術來解決零點漂移的問題。

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