川崎

用于半導(dǎo)體和電子行業(yè)

高性能專用搬運機器人

川崎提供了業(yè)界的全系列半導(dǎo)體和電子搬運機器人。這些機械手是專為在無塵室中應(yīng)用而制造的，包括ISO 1級。速度、準確度以及伸展范圍使這些機械手適合搬運精密的半導(dǎo)體晶圓、LCD面板、有機EL，以及太陽能電池板。

1.動作順滑

NTS和TTS系列可以用一臺機械手在沒有走行裝置的情況下對應(yīng)從2FOUP到3FOUP的EFEM。配有川崎的驅(qū)動部分，能夠?qū)崿F(xiàn)高精度、高剛性的動作。

2.的上下軸伸縮式結(jié)構(gòu)

TTS系列繼承了NTS系列的特征，采用了上下軸伸縮式的結(jié)構(gòu)，無論是想將物品搬至高處或是低處，此設(shè)備都能做到。

3.以SEMI STANDARD為基準

NTS系列和TTS系列都可對應(yīng)SEMI-F47以及SEMI-S2規(guī)格。充分考慮環(huán)境及安全。

川崎機器人總代理：昆山悅普達自動化機械手專業(yè)銷售，提供完善的自動化規(guī)劃方案，強有力的產(chǎn)品供應(yīng)，專業(yè)的技術(shù)調(diào)試和全方面的售后團隊服務(wù)。報價請聯(lián)系本。

更多川崎機器人信息請查看產(chǎn)品中心：