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詳細介紹
特點
高精度運動結構！
采用高精度氣動滑座、線性伺服馬達等黑田超精密加工技術，實現了高水平的平面度測量。
操作簡單，顯示和解析功能豐富！
為了對測量結果做出的評價，運用在NANOMETRO®系列銷售業績中積累的經驗，配備了我公司自行開發的各種顯示和解析軟件。
可對各種工件進行評價！
支持金屬、陶瓷、玻璃、各種晶圓等各種工件。測頭采用可根據客戶所要求的評價項目和精度進行更換的設計，可對測定對象做出的評價。
安全性、操作性和高精度兼備，深思熟慮的結構設計！
配備大小2種測量工件拆裝門，以保證安全性，同時可用起重機等設備裝載工件，在設計中注重操作性。此外，通過將測量中的外部干擾影響控制在限度和將產生熱量的電氣裝配部件分離，實現了高精度測量。
外觀形狀
性能、規格
| 項目 | SF-640M | |
|---|---|---|
| 量程 (X × Y） | 650mm × 450mm | |
| 綜合測量精度 | 0.6μm (※1) | |
| 重復精度 | 0.1μm (※2) | |
| 顯示分辨率 | 0.01μm | |
| 測頭 | 非接觸激光位移計、電子千分尺 | |
| 最小數據周期 | 1μm | |
| 測量速度 | 0.5 ～ 50mm/sec | |
| 軸、導軌 | 陶瓷制氣動導軌 | |
| 驅動方式 | X軸：線性馬達 Y軸：伺服馬達 | |
| 工件重量 | 40kg | |
| 外觀尺寸 | W1820mm × D1200mm × H1550mm | |
| 主體的重量 | 1000kg | |
| 適用電源 | AC200V (50/60Hz) 15A | |
| 適用壓縮空氣 | 潔凈干燥空氣 0.5MPa | |
| 空気流量 | 100L/min (ANR) | |
| 工件高 | 50mm | |
| 設置環境 | 室溫：20oC ～ 25oC（波動在1oC以下） 地面承重強度：耐荷載9800N/m2以上 | |
※1 平晶測量時的全面PV值
※2 重復平晶測量10次時的全面PV值的標準偏差σ
關于樣品測量
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