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RESR圓光柵系統(tǒng)

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更新時(shí)間:2022-11-02 16:38:16瀏覽次數(shù):582

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產(chǎn)品簡介

【產(chǎn)品名稱】:RESR圓光柵系統(tǒng)【產(chǎn)品規(guī)格】:RESR圓光柵系統(tǒng)【詳細(xì)內(nèi)容】雷尼紹RESR圓光柵具有的性能

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品名稱】:RESR圓光柵系統(tǒng)
產(chǎn)品規(guī)格】:RESR圓光柵系統(tǒng)
詳細(xì)內(nèi)容
 
  雷尼紹RESR圓光柵具有的性能。RESR刻劃精度達(dá)±0.5角秒、分辨率達(dá)0.004角秒,適用于精度要求的測量場合。

 
RESR圓光柵
 RESR圓光柵是一種是在柱面上直接刻線的一體式不銹鋼圓光柵。20 µm柵距RESR與RGH20和RGH35讀數(shù)頭兼容,而40 µm柵距RESR與RGH34和RGH40讀數(shù)頭兼容。

刻劃精度達(dá)±0.5角秒,系統(tǒng)重復(fù)性達(dá)0.004角秒
提供多種直徑和刻線數(shù),可與一系列具有行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的控制器兼容(直徑從52 mm到550 mm,刻線數(shù)從4096到86 400)
具有的錐面安裝方式極大地降低了安裝誤差,簡化了系統(tǒng)集成
10 mm x 10 mm小截面圓光柵
低質(zhì)量與低轉(zhuǎn)動(dòng)慣量的設(shè)計(jì)增強(qiáng)了動(dòng)態(tài)性能
一體式不銹鋼圓光柵能夠抵御振動(dòng)、機(jī)械和熱撞擊,以及熱負(fù)載
為了保證更高的加速度和減速度以及更快的恢復(fù)時(shí)間,還可提供轉(zhuǎn)動(dòng)量極低的"B"截面圓光柵
參考零位(具有可重復(fù)的起始位置)由單獨(dú)的勵(lì)磁塊提供
20 µm柵距圓光柵與UHV兼容型RGH20F讀數(shù)頭兼容
RGH20讀數(shù)頭的特性與優(yōu)點(diǎn)

 讀數(shù)頭結(jié)構(gòu)小巧,能夠提供具有行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的模擬和數(shù)字輸出
非接觸式設(shè)計(jì)提供高速、可靠的操作,摩擦和磨損均為零
讀數(shù)頭的LED安裝指示燈簡化了安裝過程
具有的光學(xué)濾波系統(tǒng)在大多數(shù)開放式光柵都不適用的條件下,仍具有優(yōu)異的信號(hào)穩(wěn)定性
REF接口提供自動(dòng)增益控制 (AGC)、自動(dòng)平衡控制 (ABC) 和自動(dòng)偏移量控制 (AOC),極大降低了周期誤差 (<±50 nm)
參考零位提供可重復(fù)的起始位置,而限位開關(guān)則指示軸行程的終點(diǎn)
可提供超高真空兼容型RGH20F版本
將RGH20與其他圓光柵讀數(shù)頭進(jìn)行比較。

RGH34讀數(shù)頭的特性與優(yōu)點(diǎn)
技術(shù)規(guī)格
 系統(tǒng)精度 — 20 µm柵距RESR與RGH20

讀數(shù)頭尺寸

14.8 mm x 36.0 mm x 13.5 mm (RGH20) (H x L x W)

10.5 mm x 36.0 mm x 13.5 mm (RGH20F)

9.5 mm x 15.0 mm x 15.0 mm (RGH35)

輸出(分辨率)

RS422:5 µm、1 µm、0.5 µm、0.2 µm、0.1 µm、50 nm、20 nm(RGH20F)、10 nm(RGH20F)、5 nm(RGH20F)

模擬:1 Vpp

細(xì)分

RGH20 — 內(nèi)置細(xì)分電路達(dá)50 nm

RGH20F — REF接口(x4至x4 000)(可獲得從x4至x4096的二進(jìn)制細(xì)分系數(shù))

RGH35 — RGI34接口(x4至x400)

參考零位勵(lì)磁塊上的螺栓
限位開關(guān)單限位(RGH40與40 µm柵距RESR具有雙限位)
速度2938轉(zhuǎn)/分(直徑為?52 mm時(shí)為20 µm)
間隙公差

0.8 ±0.08 mm

柵尺類型20 µm柵距(與RGH20和RGH35兼容)和40 µm柵距(與RGH34和RGH40兼容)RESR圓光柵
真空兼容是 — RGH20F和20 µm柵距RESR

系統(tǒng)精度 — 20 µm柵距RESR與RGH20


標(biāo)稱外徑 (mm)系統(tǒng)精度(角秒) 52 5.6 57 5.1 75 3.9 100 2.9 101 2.9 103 2.8 104 2.8 115 2.5 150 1.9 200 1.4標(biāo)稱外徑 (mm)系統(tǒng)精度(角秒) 206 1.4 209 1.4 229 1.3 255 1.1 300 1.0 350 0.8 413 0.7 417 0.7 489 0.6 550 0.5

 


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