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激光干涉儀根據(jù)不同的光學(xué)基礎(chǔ)有多種類型的干涉儀產(chǎn)品，但干涉儀因?yàn)槠湓碚w產(chǎn)品有以下優(yōu)缺點(diǎn)。

高精度。

以光學(xué)組件來說, 因?yàn)榻M件的微小變化均會(huì)嚴(yán)重改變原有的光學(xué)質(zhì)量，因此必須要有非常精確的測量儀器, 干涉儀具有精度非常高的優(yōu)點(diǎn), 可達(dá)1/100的波長甚至到1/1000的波長, 波長是指干涉儀中使用光源的波長值.舉例來說：一般干涉儀的波長為632.8( nm ),而 632.8的百分之一約為6個(gè)(nm) , 目前的納米科技是在這個(gè)尺度, 甚至有些更好的干涉儀可以到0.6個(gè)(nm)。

第二. 測量方式為非接觸式測量。

另一種測量用的輪廓儀是使用接觸式的測量方式, 即使目前已可以微調(diào)接觸的力量, 但對于表面較脆弱的被測量物是否真的*不會(huì)造成損害則仍無法確定.而當(dāng)用干涉儀測量時(shí), 是把光照射到被測量的物體上, 所以干涉儀上的探針也就是光, 并不會(huì)對物體表面照成任何傷害

第三 速度快。

使用探針來測量時(shí)無法一次測量所有的面積, 而可能必需分很多掃瞄線去測量, 相對來說, 干涉儀的測量速度就非常快了, 可能幾秒鐘就測完了, 而不需要等待幾個(gè)小時(shí)的時(shí)間.

第四 干涉儀的缺點(diǎn)，使用門檻高。

一個(gè)操作員在會(huì)使用干涉儀卻不太清楚干涉儀的使用限制、條件及原理的時(shí)候, 可能會(huì)測量到不是他所要的東西, 而且, 因?yàn)楦缮鎯x是用光線測量, 在調(diào)整上也會(huì)花費(fèi)多的時(shí)間, 可能測量結(jié)果只要花幾秒鐘, 但事前的調(diào)整卻要花費(fèi)幾十分鐘甚至數(shù)個(gè)小時(shí).