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激光干涉儀是一種常用的測(cè)量?jī)x器，以激光波長(zhǎng)為已知長(zhǎng)度，利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測(cè)量位移的通用長(zhǎng)度測(cè)量，被廣泛用于多個(gè)行業(yè)中。

激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來(lái)作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測(cè)量工作，并可作為精密工具機(jī)或測(cè)量?jī)x器的校正工作。

影響激光干涉儀測(cè)量精度的主要因素：

1. 激光頻率穩(wěn)定性：在激光干涉儀中，將激光波長(zhǎng)作為長(zhǎng)度基準(zhǔn)，激光頻率變化直接影響測(cè)量結(jié)果。

2. 大氣折射率。

3. 死程誤差：在零位時(shí)，激光干涉儀兩相干光的還有一段光程差，這一段光程差稱為死程。死程的變化會(huì)引起測(cè)量誤差，死程誤差是激光干涉儀的一項(xiàng)重要誤差。

4. 余弦誤差：在測(cè)定三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的定位誤差時(shí)，需仔細(xì)調(diào)整，使光束與滑座的運(yùn)動(dòng)方向平等。

5. 脈沖當(dāng)量誤差：激光干涉儀顯示的最小一個(gè)數(shù)所對(duì)應(yīng)的量值稱為脈沖當(dāng)量。

6. 細(xì)分誤差：在干涉條紋一個(gè)周期內(nèi)，由插細(xì)分不均勻引起的誤差。

7. 阿貝誤差：為避免阿貝誤差，需將角隅棱鏡的頂點(diǎn)調(diào)整到所測(cè)的直線上，否則由于滑座的角運(yùn)動(dòng)誤差引起阿貝誤差。