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技術(shù)文章

石英光罩(光刻掩摸板)平面度測量|激光平面度測量儀

閱讀:466          發(fā)布時(shí)間:2022-8-25

石英光罩業(yè)內(nèi)又稱光掩模版、掩膜版,英文名稱MASKPHOTOMASK光罩的功能就是利用光刻機(jī)發(fā)出的光通過具有圖形的光罩對涂有光刻膠的薄片曝光,這就是光刻的作用,類似照相機(jī)照相。照相機(jī)拍攝的照片是印在底片上,而光刻刻的不是照片,而是電路圖和其他電子元件,通俗來講光刻機(jī)就是放大的單反,光刻機(jī)就是將光罩上的設(shè)計(jì)好集成電路圖形通過光線的曝光印到光感材料上,形成圖形。光罩的作用如此重要,所以其表面平面度的檢測需求也非常高,一般的測量工具并不符合光罩的精度需求,使用接觸式測量方式還有可能對光罩表面形成劃痕等瑕疵,所以海科思激光平面度測量儀是測量光罩平面度的理想選擇。

激光平面度測量儀相較于通用型測量工具明顯的優(yōu)點(diǎn)就是:精度高無損效率高。激光平面度平整度測量儀通過高精度激光測頭對工件表面進(jìn)行掃描取點(diǎn),以獲取工件表面的輪廓數(shù)據(jù),再以此做平面度及翹曲度計(jì)算,無論是抽檢或是全檢皆適用,只需要預(yù)設(shè)好平面度、翹曲度、平整度等數(shù)據(jù)的監(jiān)控值,測量完成后就會在屏幕上直接觀看當(dāng)前工件NG/OK以及詳細(xì)數(shù)據(jù)。激光平面度測量儀的高運(yùn)算快速測量的特性使得測量一片工件只需要0.5秒,對比傳統(tǒng)的平面度測量方法大大縮減了用時(shí),幫助光罩制造業(yè)快速提升產(chǎn)業(yè)鏈。

海科思有多款適用于手機(jī)行業(yè)的測量設(shè)備,可根據(jù)您的實(shí)際需求進(jìn)行配置以及尺寸的更改,如果您的工件有測量設(shè)備的需求歡迎致電海科思全國服務(wù)熱線:

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