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技術文章

硅錠直徑高精度測量,高效提升晶圓生產速度|自動影像測量儀

閱讀:373          發布時間:2022-8-24

硅片的制備從晶體生長開始,形成單晶錠后經過修整和磨削再切片,再經過邊緣打 磨、精研、拋光等步驟后,最后檢查得到的硅片是否合格。鑄錠的直徑直接影響了硅片的尺寸,所以硅錠的直徑要求非常嚴格,如果還是使用常規的卡尺、卷尺等工具對硅錠的直徑進行測量,那么測量精度的要求無法達標不說,對于硅錠的直徑均一性更是保證不了。常規的測量工具在測量硅錠的直徑會有可能因為操作不慎導致硅錠被劃傷,后續的廢片率就會提升,所以硅錠測量直徑需要一個無損高效率高精準的測量工具,??扑加跋駵y量儀是測量硅錠的理想測量設備。

全自動影像測量儀在測量時,僅需將硅錠放在工作臺上,就能在電腦畫面上進行影像測量,不用擔心會磨損硅錠表面,測量精度達到μm級擺脫因為測量精度不高的困擾。硅圓影像測量儀操作也相當方便,軟件內測量功能,讓測量硅錠直徑、平行度等數據得心應手,測量結果不受人為操作影響,效率高且保證了不同操作人員都能達到同樣的測量精度。軟硬件多方位兼顧,,省時省力。海科思同心度影像測量儀有技術團隊提供技術支持,無論是售前還是售后都能提供服務。

??扑加懈鞣N單機高速測量機、自動化在線測量系統,有豐富的測量經驗,歡迎??扑挤諢峋€:

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