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激光干涉儀，以光的波長(zhǎng)為已知總長(zhǎng)度，使用邁克耳遜干涉系統(tǒng)精確測(cè)量偏移的常用尺寸測(cè)量。
該設(shè)備的管理維護(hù)方法：
1、激光干涉儀應(yīng)避免出現(xiàn)在環(huán)境溫度變化大、有風(fēng)、濕冷區(qū)域環(huán)境下精確測(cè)量，這個(gè)時(shí)候檢驗(yàn)結(jié)果將接收到非常大的不良影響。
2、該設(shè)備需要定人保管，機(jī)械加工技術(shù)組相關(guān)工作人員專人常用，專人檢驗(yàn)，別人不可以任意使用，可以預(yù)防毀壞，減少精確度。

3、激光干涉儀要設(shè)定專庫(kù)儲(chǔ)存，區(qū)域環(huán)境規(guī)定干燥、透風(fēng)、抗震、防霧鏡、防污、防銹處理。儀器設(shè)備應(yīng)維持空氣干燥。

4、對(duì)儀器設(shè)備要小心輕放，避免出現(xiàn)明顯的沖擊性震動(dòng)，安裝使用儀器設(shè)備前要查驗(yàn)三腳架的結(jié)實(shí)性，全部操作全過(guò)程中相關(guān)工作人員不可以離去儀器設(shè)備，避免 意外事故出現(xiàn)。
5、主要負(fù)責(zé)人要每個(gè)月對(duì)激光干涉儀的電子元件進(jìn)行核對(duì)，并查詢是不是有毀壞、損壞等異常現(xiàn)象，將檢查報(bào)告給予辦理備案。
6、干涉儀儀器設(shè)備所適用的筆記本為常用筆記本，該筆記本不可以借出去，也無(wú)法安裝使用一切其他軟件，避免 軟件矛盾和病毒感染，確保精確測(cè)量信息的精確，可以預(yù)防精確測(cè)量?jī)?nèi)容丟失。
7、精確測(cè)量相關(guān)工作人員在取放干涉儀前，首先需要填好激光干涉儀使用申請(qǐng)表，填好申請(qǐng)表后，主要負(fù)責(zé)人首先需要查驗(yàn)干涉儀電子元件詳細(xì)程度，電子元件是不是保持良好。