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AIS 主動防振系統(tǒng)

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更新時(shí)間：2022-06-12 11:04:22瀏覽次數(shù)：333

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產(chǎn)品簡介

AIS 主動防振系統(tǒng)

詳細(xì)介紹
AIS 主動防振系統(tǒng)
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產(chǎn)品說明
隨著奈米時(shí)代的來臨，許多科技產(chǎn)業(yè)對精密度的要求已經(jīng)從微米(micrometer)，次 微米 (sub-micrometer)到奈米(nanometer)等級。環(huán)境的影響也越來越明顯。除了溫度影響外，振動會是首先必須面對的問題。

德國 BILZ公司以40年的防振實(shí)務(wù)經(jīng)驗(yàn)，研發(fā)出氣電控制主動防振系統(tǒng) AIS (Active Isolation System)。


AIS的推出已實(shí)際有效協(xié)助各科技產(chǎn)業(yè)解決所面臨的振動問題，如半導(dǎo)體、精密雷射切割、面板檢驗(yàn)、電子顯微鏡、精密光電等產(chǎn)業(yè)。
產(chǎn)品規(guī)格

■ AIS 主動防振系統(tǒng)產(chǎn)品的特點(diǎn)

  1. 主動式氣電控制，可同時(shí)控制六個(gè)自由度。
  2. 化防振效果，沒有共振問題。
  3. 水平與垂直向定位精密度高。
  4. 穩(wěn)定時(shí)間超短，定位速度快。
  5. 沒有熱源，不會產(chǎn)生磁場，耗電低。
  6. 專有的感測控制器，結(jié)合位移、加速度、氣壓等精密感測器和控制微處理器於一體。直接感測控制每個(gè)自由度，可達(dá)到即時(shí)控制，效率極高。

■ AIS主動防振系統(tǒng)的使用時(shí)機(jī)：

  1. 防振要求等級非常高，如VC-E。
  2. 設(shè)備水平定位精度要求高並要快速穩(wěn)定。
  3. 避免共振影響。

■ AIS主動防振系統(tǒng)的產(chǎn)品規(guī)格：需由使用端提供資料與環(huán)境測試再評估。

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