產品描述

PS3L45-030U系列是具有納米級定位分辨率的高速，多軸，精密納米定位系統。本系列產品提供的多功能性，可以配置XY或XYZ運動并擁有獨立的Z/X軸運動產品。可選配內部位置傳感器進行閉環，可進行重復的位置測量。

超薄型設計，外形尺寸僅有45x45x23.5mm，具有體積小巧，高穩定性，高精度使其非常適合需要低噪聲和高速性能的計量應用。適用于空間需求的多軸運動定位場合。參數可根據客戶要求定制。

PS3L45-030U系列納米位移臺內部可集成SGS位置傳感器，閉環采用全閉環設計，高精度柔性系統，具有零摩擦等特點，使其具有更高的定位精度及線性精度。

壓電位移臺可提供SGS傳感器反饋或無反饋（開環）。 對于需要緊湊的尺寸，高動態性和亞納米級的定位分辨率，但又不需要的定位精度和可重復性的應用，開環提供了一種經濟高效的選擇。 在通過外部反饋源（干涉儀，視覺系統，光電探測器等）控制壓電位置的情況下，也可以使用開環設計。

選配功能

—可定制孔位及轉接裝置

—可選PZT&Sensor連接器及線纜長度

—可選配閉環(SGS) 位置反饋系

—可提供X/XY/XZ版本

應用領域

—原子力顯微鏡、掃描探針顯微鏡

—測量、計量

—光學探針、光學掃描、光束對準

—微流體技術

                    結構原理                                           位移特性                                             典型應用

PS3L45-030U系列技術參數