詳細(xì)介紹
簡單介紹
導(dǎo)電粒子觀察顯微鏡主要用于半導(dǎo)體硅晶片(Silicon Wafer)檢測、液晶屏(LCD)檢測、導(dǎo)電粒子(Conductive Particles)檢查,實驗室材料分析及其他精密工程檢測領(lǐng)域研究,可對樣品進行明場、暗場、微分干涉及偏光觀察。
導(dǎo)電粒子觀察顯微鏡性能特點:
★ 系統(tǒng)采用無限遠(yuǎn)平場消色差、長工作距、明暗場兩用物鏡,成像清晰、像面平坦
★ 配備反射式柯拉照明系統(tǒng),為不同倍率的物鏡提供均勻充足的照明
★ 正像三通觀察筒,25°傾斜,極大的提高了觀察的舒適性與操作的適應(yīng)性
★ 配備了6"帶離合器機械平臺,行程158*158mm,可快速移動
★ 人機學(xué)設(shè)計,高剛性鏡臂,"Y"型底座,調(diào)焦機構(gòu)采用前置式操作控制,粗微調(diào)同軸
★ 光源采用寬電壓數(shù)字調(diào)光技術(shù),具有光強設(shè)定與復(fù)位功能
★ 可選配攝影攝像裝置、簡易偏光裝置、干涉濾光片、測微尺等附件,拓展應(yīng)用領(lǐng)域
導(dǎo)電粒子顯微鏡主要技術(shù)參數(shù):
光學(xué)系統(tǒng):無限遠(yuǎn)色差校正光學(xué)系統(tǒng)
物鏡
無限遠(yuǎn)平場消色差,長工作距金相物鏡(明暗場兩用),5X、10X、20X、50X、80X
目鏡:高眼點平場目鏡,PL10X,線視場φ22mm
高眼點平場目鏡,PL15X,線視場φ16mm
觀察筒:正像,鉸鏈?zhǔn)饺浚?5°傾斜,分光比:雙目99%,三目99%
照明系統(tǒng):反射式柯拉照明,明暗場切換,帶簡易偏光接口,12V/100W鹵素?zé)?,預(yù)置中心
采用數(shù)字調(diào)光,具有光強設(shè)定與復(fù)位功能,帶針孔光欄
調(diào)焦機構(gòu):粗微調(diào)同軸,帶粗調(diào)上限位、松緊調(diào)節(jié)裝置和隨機限位裝置
粗調(diào)行程:33mm(焦后1mm),微調(diào)精度:0.001mm
樣品高度:32mm
物鏡轉(zhuǎn)換器:內(nèi)定位、內(nèi)傾式、五孔、明暗場兩用物鏡轉(zhuǎn)換器
載物臺:6英寸矩形,機械移動平臺200mmX200mm,移動行程:158mmX158mm
低位同軸調(diào)節(jié),帶離合器控制手柄,可快速移動
機架:全新的人機工程學(xué)設(shè)計,高剛性鏡臂,"Y"型底座,前置式操作控制
選購附件:攝影攝像裝置、簡易偏光裝置、干涉濾光片、測微尺等
觀察筒:正像觀察筒,物的移動與像的移動方向一致,不會出現(xiàn)使用倒像觀察筒時物像方向相反而產(chǎn)生的錯覺。避免操作失誤,提高工作效率。
1、鉸鏈?zhǔn)接^察筒,25°傾斜,視度調(diào)節(jié)(±5)
2、分光比:雙目99%,三目99%
3、瞳距調(diào)節(jié)(54-75mm),無需筒長補償
粗微動同軸調(diào)焦機構(gòu):
1、采用新型導(dǎo)軌機構(gòu),粗微動同軸
2、低手位設(shè)計,操作舒適
3、帶有粗調(diào)松緊調(diào)節(jié)裝置和隨機限位裝置
4、調(diào)焦行程:33mm
5、調(diào)焦精度:0.001mm
6、樣品高度:32mm
機械移動載物臺:
1、雙層機械移動式,帶離合器控制手柄,可快速移動
2、特殊材料制造、特殊工藝處理,耐磨耐腐蝕
3、低手位同軸調(diào)節(jié)手柄,操作更加舒適
4、6英寸矩形,移動行程:158mmX158mm
離合器控制手柄--通過離合控制,可以脫開手輪傳動從而實現(xiàn)快速無阻移動,提高大面積樣品檢測時的移動效率
照明系統(tǒng):
1、12V/100W鹵素?zé)?,預(yù)置中心
2、90V-240V寬電壓,旋鈕式數(shù)字調(diào)光
3、具有光強設(shè)定與復(fù)位功能,用于特定觀察或拍攝照片
4、反射式柯拉照明,帶視場光欄與孔徑光欄,均可調(diào)中心
5、推拉式針孔光欄,主要用于50X以上的物鏡,觀察高景深高對比度
物鏡轉(zhuǎn)換器:
1、內(nèi)定位內(nèi)傾式、五孔明暗場兩用物鏡轉(zhuǎn)換器
2、物鏡的安裝和操作更為便利
3、高精度制造,保證系統(tǒng)齊焦
偏光裝置:
1、選擇簡易偏光附件可以實現(xiàn)偏光觀察
2、S-PO起偏鏡,S-AN檢偏鏡
導(dǎo)電粒子觀察顯微鏡主要用于半導(dǎo)體硅晶片(Silicon Wafer)檢測、液晶屏(LCD)檢測、導(dǎo)電粒子(Conductive Particles)檢查,實驗室材料分析及其他精密工程檢測領(lǐng)域研究,可對樣品進行明場、暗場、微分干涉及偏光觀察。
導(dǎo)電粒子觀察顯微鏡性能特點:
★ 系統(tǒng)采用無限遠(yuǎn)平場消色差、長工作距、明暗場兩用物鏡,成像清晰、像面平坦
★ 配備反射式柯拉照明系統(tǒng),為不同倍率的物鏡提供均勻充足的照明
★ 正像三通觀察筒,25°傾斜,極大的提高了觀察的舒適性與操作的適應(yīng)性
★ 配備了6"帶離合器機械平臺,行程158*158mm,可快速移動
★ 人機學(xué)設(shè)計,高剛性鏡臂,"Y"型底座,調(diào)焦機構(gòu)采用前置式操作控制,粗微調(diào)同軸
★ 光源采用寬電壓數(shù)字調(diào)光技術(shù),具有光強設(shè)定與復(fù)位功能
★ 可選配攝影攝像裝置、簡易偏光裝置、干涉濾光片、測微尺等附件,拓展應(yīng)用領(lǐng)域
導(dǎo)電粒子顯微鏡主要技術(shù)參數(shù):
光學(xué)系統(tǒng):無限遠(yuǎn)色差校正光學(xué)系統(tǒng)
物鏡
無限遠(yuǎn)平場消色差,長工作距金相物鏡(明暗場兩用),5X、10X、20X、50X、80X
目鏡:高眼點平場目鏡,PL10X,線視場φ22mm
高眼點平場目鏡,PL15X,線視場φ16mm
觀察筒:正像,鉸鏈?zhǔn)饺浚?5°傾斜,分光比:雙目99%,三目99%
照明系統(tǒng):反射式柯拉照明,明暗場切換,帶簡易偏光接口,12V/100W鹵素?zé)?,預(yù)置中心
采用數(shù)字調(diào)光,具有光強設(shè)定與復(fù)位功能,帶針孔光欄
調(diào)焦機構(gòu):粗微調(diào)同軸,帶粗調(diào)上限位、松緊調(diào)節(jié)裝置和隨機限位裝置
粗調(diào)行程:33mm(焦后1mm),微調(diào)精度:0.001mm
樣品高度:32mm
物鏡轉(zhuǎn)換器:內(nèi)定位、內(nèi)傾式、五孔、明暗場兩用物鏡轉(zhuǎn)換器
載物臺:6英寸矩形,機械移動平臺200mmX200mm,移動行程:158mmX158mm
低位同軸調(diào)節(jié),帶離合器控制手柄,可快速移動
機架:全新的人機工程學(xué)設(shè)計,高剛性鏡臂,"Y"型底座,前置式操作控制
選購附件:攝影攝像裝置、簡易偏光裝置、干涉濾光片、測微尺等
觀察筒:正像觀察筒,物的移動與像的移動方向一致,不會出現(xiàn)使用倒像觀察筒時物像方向相反而產(chǎn)生的錯覺。避免操作失誤,提高工作效率。
1、鉸鏈?zhǔn)接^察筒,25°傾斜,視度調(diào)節(jié)(±5)
2、分光比:雙目99%,三目99%
3、瞳距調(diào)節(jié)(54-75mm),無需筒長補償
粗微動同軸調(diào)焦機構(gòu):
1、采用新型導(dǎo)軌機構(gòu),粗微動同軸
2、低手位設(shè)計,操作舒適
3、帶有粗調(diào)松緊調(diào)節(jié)裝置和隨機限位裝置
4、調(diào)焦行程:33mm
5、調(diào)焦精度:0.001mm
6、樣品高度:32mm
機械移動載物臺:
1、雙層機械移動式,帶離合器控制手柄,可快速移動
2、特殊材料制造、特殊工藝處理,耐磨耐腐蝕
3、低手位同軸調(diào)節(jié)手柄,操作更加舒適
4、6英寸矩形,移動行程:158mmX158mm
離合器控制手柄--通過離合控制,可以脫開手輪傳動從而實現(xiàn)快速無阻移動,提高大面積樣品檢測時的移動效率
照明系統(tǒng):
1、12V/100W鹵素?zé)?,預(yù)置中心
2、90V-240V寬電壓,旋鈕式數(shù)字調(diào)光
3、具有光強設(shè)定與復(fù)位功能,用于特定觀察或拍攝照片
4、反射式柯拉照明,帶視場光欄與孔徑光欄,均可調(diào)中心
5、推拉式針孔光欄,主要用于50X以上的物鏡,觀察高景深高對比度
物鏡轉(zhuǎn)換器:
1、內(nèi)定位內(nèi)傾式、五孔明暗場兩用物鏡轉(zhuǎn)換器
2、物鏡的安裝和操作更為便利
3、高精度制造,保證系統(tǒng)齊焦
偏光裝置:
1、選擇簡易偏光附件可以實現(xiàn)偏光觀察
2、S-PO起偏鏡,S-AN檢偏鏡