SHP8400 PMS過程氣體質譜分析儀儀器特點

l動態、連續取樣，實時、在線氣體分析；響應速度快，數據分析功能強大。

l有機架式和臺式兩種機型可選，充分考慮到在線分析的需要。

l采用電磁閥或多通旋轉閥進行過程中的多氣路切換，實現多點、多組分自動監測，結構輕巧，方便快捷。

l采樣和前處理裝置可根據需求量身定制，方便實現調壓、過濾、除濕、加熱等功能。

l可控制溫度的進氣管道，防止過程氣體在采樣過程中冷凝。

l雙燈絲，并配有燈絲保護裝置，大程度的延長燈絲的使用壽命。

l快速自動校準，包括背景校準、碎片校準、電離靈敏度校準。

l人性化的任務管理功能，用戶可以自定義設置分析任務。

l結果數據輸出采用DDE和OPC方式，與其它軟件系統優異兼容。

l具備網絡接口，可實現遠程控制。

SHP8400 PMS過程氣體質譜分析儀技術參數

l質量數范圍：1-100 amu，1-200 amu，1-300amu

l響應時間：ms

l小檢測分壓：5×10-11 Torr（FC）

                               5×10-14 Torr（CDEM）

l檢出限：≤10ppm（FC）

l操作溫度：≤70℃

l取樣壓力：≤5 bar（有特殊需求者可訂制）

l質量分析器：四極桿（Quad）

l檢測器：法拉第筒（FC），電子倍增器（CDEM）可選

l離子源：電子轟擊 （EI）源;

硬件結構

l結構精巧的多通道電磁閥實現進樣的自動控制。體積小，切換速度快，且通道數目可按用戶需求增減；利用輔助泵縮短氣體滯留時間，確保的分析結果。

l多通機械旋轉閥死體積小，質量可靠。

l電子轟擊離子源，通用性強、譜圖結構信息豐富。

l精加工的四極桿質量分析器和高精度安裝調試技術保證近軸電場穩定，達到水平。

l系統內部合理優化的散熱流路設計。

l分子泵和質量分析器采用不同的減震措施，確保儀器運行的高可靠性。

l真空系統依不同應用領域需求不同配置。

軟件功能強大

l新一代用戶界面（Fluent/Ribbon界面）：降低用戶操作難度，減少培訓時間。

l全面的標準化和開放性：軟件的數據儲存格式和內部交換格式均采用通用的工業標準（xml和csv）；數據發布采用DDE、OPC兩種方式。

l引入“方法"和“任務"概念，實現分析過程全盤自動化。

l軟件的開發基于舜宇恒平儀器的統一儀器軟件開發平臺SHPS1.2。

l支持長時間不間斷在線分析。

l多路進樣通道、通過自動方法切換，支持多路不同樣品同時在線檢測。

在線氣體處理裝置

在線分析器長期連續、實時的檢測分析，必然要求取樣的連續性和嚴格的樣氣處理技術，要求樣氣的真實和傳輸快速，使得樣氣在進入分析器時，要達到近于標準氣的品質。由上海舜宇恒平科學儀器有限公司生產的在線樣氣處理裝置，確保在線分析系統長期連續運行的可靠性和安全性，以及近于免維護的易維護性。

l創新的多通道樣氣處理技術

l自動化程度高，反應速度快

l具備除塵、除濕、除泡沫、加熱及調壓功能

l特殊要求（如防爆、冷凝除濕、冶金行業應用等）及通道數目可訂制

應用領域

半導體行業/冷媒檢漏

真空檢漏

石油化工

冶金煉鋼

環境監測