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半導體?太陽能電池?LED?功率半導體制造裝置(線切機)

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  • 型號 TWG-300
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  • 廠商性質 生產商
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更新時間:2021-09-29 15:37:45瀏覽次數:475

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產品簡介

半導體?太陽能電池?LED?功率半導體制造裝置(線切機)

詳細介紹

藍寶石、SiC、GaN用金剛線線切機。

TWG-300是以使用金剛磨粒為前提開發的金剛線線切機。因采用可限度發揮出金剛線性能的技術,在進行φ4英寸的藍寶石鑄晶棒的切割時,也可實現
[1]2倍的生產效率(切割時間為舊款設備的一半)
[2]TTV10μm、BOW10μm的高精度加工
[3]線使用量15m/片以下的低加工成本。

TWG-300上新搭載了可使鋼線導向軸搖動的新型搖動框架,可高效切割難以磨削的材料。除了牢固的基本構造外,還采用了將搖動機構一體化的高剛性框架構造等,提高了設備整體的剛性。并且,還采用了防止鋼線發生扭曲和斜行的走線控制、鋼線的張力保持不變的張力控制等,從而限度發揮出金剛線的切割性能。除此以外,還搭載了大功率電機等,即使在高負荷時也可進行高速且正確的切割,實現了走線速度1,500m/分的高速化,以及在加減速時間1.5秒下的高速往返切割。另外,還采用了可根據切割位置設置線速度、搖動速度、搖動角度等各種條件的曲線控制。利用此功能,在進行難磨削材料的切割時,也可確保高生產效率、高精度加工和低運行成本。

主要規格

TWG-300
安裝尺寸 (正面寬×縱深×高)mm1,700×3,505×2,880
晶棒尺寸mmφ150
鋼線導向軸數2
晶棒長度mm300
走線速度m/分1,500

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