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超精密平面磨床

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  • 型號(hào) SIG-V4
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更新時(shí)間：2021-08-28 08:40:04瀏覽次數(shù)：695

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

SIG-V4 超精密平面磨床

詳細(xì)介紹

用途及材料

用來(lái)研磨藍(lán)寶石基板、SiC基板和陶瓷等硬脆性材料之超精密平面磨床

特點(diǎn)

具有以往所沒(méi)有的優(yōu)異機(jī)械剛性

具有高剛性，可抑制加工中的負(fù)面因子，同時(shí)兼具高效率和低損壞姓

具有高剛性，可擴(kuò)增工作臺(tái)的直徑，亦可用於6吋晶圓的批量加工

透過(guò)非接觸式的厚度檢測(cè)來(lái)測(cè)量加工品輪廓，亦能以高可靠度支援批量加工

以獨(dú)創(chuàng)砂輪進(jìn)行無(wú)打磨加工，維持穩(wěn)定的品質(zhì)，並降低停機(jī)時(shí)間

拋光用貼付板的自動(dòng)搬送系統(tǒng)

加工程式能以配方管理執(zhí)行簡(jiǎn)單操作

超精密平面磨床 加工實(shí)例
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