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MCV-5000激光干涉儀

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更新時間:2021-07-28 09:31:53瀏覽次數:975

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產品簡介

MCV-5000系列激光測量系統是為大型五軸數控機床檢測而設計

詳細介紹

 

MCV-5000系列激光測量系統是為大型五軸數控機床檢測而設計。 MCV-5002激光測量系統是MCV-5000系列中的基本型,它具有直線位移測量、大型機床主動軸和從動軸直線位移同步測量、分軸步進對角線測量、角偏(俯仰角、偏擺角)和直線度(上下直線度、水平直線度)測量功能。 MCV-5003是在MCV-5002基礎上增加第四軸、第五軸測量功能組成。 MCV-5004是在MCV-5002基礎上增加二套動態測量組件,具有動態測量功能、圓形軌跡測量和分析、非圓形軌跡測量功能。 MCV-5005是在MCV-5002基礎上增加第四軸、第五軸測量,增加二套動態測量組件,具有動態測量功能、圓形軌跡測量和分析、非圓形軌跡測量功能。

 

主要特點與功能:
測量旋轉的ABC軸的轉動精度
無三腳架及干涉鏡、結構簡單、重量輕、攜帶方便
具有長行程(標準配置30m、特殊訂貨可達60m100m)
非接觸的圓形軌跡測量和分析功能,具有非接觸、高精度、高進給、小R的特點
具有空氣壓力、空氣溫度、空氣濕度及材料溫度自動補償,安裝方便、對光方便、精度高
二套獨立的動態測量系統,可測量機床在直線運動、二軸插補運動時的位移、速度、加速度等動態特牲
二個獨立的激光頭,可進行直線位移測量、大型機床主動軸和從動軸直線位移同步測量、直線度(上下直線度、水平直線度)的測量
有分軸步進對角線測量功能,通過對加工的四根對角線的分軸步進測量,可以分析出十二項誤差:三個軸的位移誤差、六項直線度誤差以及三個軸之間的垂直度誤差,生成補償程序通過控制器進行補償以提高機床的空間精度。

 

MCV-5000基本技術參數

激光頻率穩定性

±0.05ppm

 

氦氖激光管

2

 

激光輸出功率

1mW

 

激光管壽命

40000小時

 

空氣溫度傳感器精度

±0.1

 

空氣壓力傳感器精度

±1.1mmHg

 

材料溫度傳感器精度

±0.1

 

環境溫度(濕度)

5-38 0-95%)

 

電源電壓(電源頻率)

90-265V50-60Hz

 

線性位移測量

測量距離

≥30m60m,100m可選)

 

分辨率

1nm

 

精度

±0.5ppm

 

速度

5m /

 

主從動軸同步性檢測

數據采樣速率

1-1000個數/

 

角偏(俯仰角、偏擺角)

測量距離

≥30m60m,100m可選)

 

分辨率

0.2

 

精度

±0.2%±0.2

 

測量范圍

角度:±10

 

速度

4m /

 

直線度測量

測量距離

≥30m60m,100m可選)

 

精度

±0.2%±0.01 微米

 

測量范圍

±1000 微米

 

速度

5m /

 

兩導軌平行度檢測

距離

≥30m60m,100m可選)

分辨率

1nm

精度

±1ppm

         

 

 

 

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