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日本UNION DCM-40/60 用于微電子行業(yè),半導體行業(yè)

時間:2023/10/4閱讀:160
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產(chǎn)品簡介

兩面觀察測量顯微鏡產(chǎn)品介紹

兩面觀察測量顯微鏡

品牌:日本UNION

型號:DCM-40/60


DCM-40/60是一款設計*的顯微鏡,可分別或同時觀察物體的表面和底面圖像,并對兩圖像進行比較,還可以通過測量裝置測量兩圖像(表面和底面)的偏差??蛇x的物鏡有五種,放大倍率從50X~100X。測量精度可達1μm。


DCM-40/60主要應用于微電子行業(yè),特別是在半導體行業(yè)。產(chǎn)品上下面尺寸有偏移時就可以直接對比測量,減少其它間接測量方式的誤差且不會損壞產(chǎn)品。例如:晶圓劃片基準印字偏移,柔性線路板線路間距,陶瓷電容片切割對位和IC框架邊緣質量等應用。


規(guī)格:

型號

DCM-40

DCM-60

物鏡

5X, 10X, 20X ,40x, 100X

5X, 10X, 20X ,40x, 100X

工作臺

50X50mm ~100X100mm

150X150mm

光源

150W鹵素燈2

150W鹵素燈2

工件厚度

20mm

30mm

選配件

照相系統(tǒng)、TV系統(tǒng)

測量步驟:

1.將"光路選擇開關"旋轉到"Top& Bottom"位置,調整上、下物體的光軸至重合。

2.將工件置于工作臺上。旋轉"光路選擇開關""Top" 位置,對焦上表面. .

3.旋轉光路選擇開關""Bottom" 位置, 對焦下表面。.

4.將光路選擇開關"旋轉到"Top &Bottom"位置,測量兩圖像的位置偏差。



設備:



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