特征： 應用：

直線度可達10um 半導體設備
X軸***6m Y軸0.5m行程 自動化搬送
以線性滑軌架構之定位平臺 FPD設備
良好接地設計防止雜訊干擾 太陽能製造設備
Z向震動可達奈米等級以下 PCB設備
***速度可達5m/s 水刀設備
標準重現精度1um或以下 鑽石切割產業
位置回饋系統解析度***可達50nm AOI檢測設備
工具機