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詳細介紹
高剛性研磨機--HRG3000RMX
特征
●全自動高剛性三軸研磨機
●實現快速無損傷加工
●加工成本低 加工精度高 實現鏡面加工
類別 | HRG3000X |
全自動高剛性三軸研磨機 | |
外觀 | 尺寸：1750（W）×3525(D)×1978(H) mm |
重量：11000 Kg | |
晶圓尺寸（mm） | 300 |
磨輪直徑（mm） | 300 |
磨輪轉速（rpm） | 3600 |
工作臺轉速（rpm） | 650 |
磨輪主軸功率（kw） | 11 |
單片總厚度偏差：TTV（μm） | 0.5(帶自動TTV功能) |
片與片厚度偏差：WTW（μm） | ±0.5(帶自動TTV功能) |
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類別 | RM3000-HRG |
外觀 | 尺寸：1500（W）×4250(D)×1800(H) mm |
重量：1600 Kg | |
晶圓尺寸（mm） | 300 |
切割膠膜直徑（mm） | Φ230（單卷寬度430mm） |
揭膜膠帶直徑（mm） | Φ200（單卷寬度50mm） |
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