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技術(shù)文章

uvw精密對(duì)位平臺(tái)是什么?有什么用?

閱讀:1331          發(fā)布時(shí)間:2022-6-3

目前,uvw精密對(duì)位平臺(tái)的應(yīng)用主要是半導(dǎo)體行業(yè)的晶圓切割、封裝檢測(cè)、絲網(wǎng)印刷機(jī)、貼合機(jī)等有高速、高精度需求的行業(yè),它們基本上是定位平臺(tái)使用者的。

 

在今后的快速發(fā)展中,將有更多的行業(yè)應(yīng)用定位平臺(tái),使定位平臺(tái)更加精細(xì)。

 

談?wù)剣?guó)產(chǎn)、中國(guó)臺(tái)灣、日本等地生產(chǎn)的定位平臺(tái)吧。 其實(shí)UVW校準(zhǔn)平臺(tái)的結(jié)構(gòu)比較簡(jiǎn)單,無(wú)論是國(guó)產(chǎn)還是其他地區(qū)其實(shí)都差不多,主要核心部件是軌道和絲杠,主要是國(guó)產(chǎn)軌道絲杠的精度和耐磨性不如日本瑞士的好。

 

其實(shí)我相信我們的加工和組裝能力是直線上升的,質(zhì)量也在不斷提高。

 

需要組合任意2個(gè)工件,可以使用校準(zhǔn)工作臺(tái)。 但是,并不是所有工件的組裝都需要校準(zhǔn)工作臺(tái)。 因?yàn)椴恍枰敲锤叩木取?校準(zhǔn)工作臺(tái)的精度可以達(dá)到1微米,芯片的印刷使用這個(gè)精度。 變低了。 就像手機(jī)屏幕的貼合一樣,使用精度也在3微米以內(nèi)。 常用的校準(zhǔn)平臺(tái)有xyθ結(jié)構(gòu)、5M結(jié)構(gòu)、UVW結(jié)構(gòu)3種。 雖然這些結(jié)構(gòu)不同,但核心功能都是定位,通過(guò)x軸移動(dòng)、y軸移動(dòng)、θ軸旋轉(zhuǎn)實(shí)現(xiàn)定位功能。 UVW校準(zhǔn)平臺(tái)是日本人發(fā)明的,由上板、下板、四個(gè)單體組成。 UVW3個(gè)動(dòng)力軸、x軸方向2個(gè)電機(jī)( VW)y軸方向1個(gè)電機(jī)( u )x2個(gè)電機(jī)聯(lián)動(dòng)實(shí)現(xiàn)x軸移動(dòng),y1個(gè)電機(jī)控制y軸移動(dòng),x2個(gè)異步實(shí)現(xiàn)θ軸旋轉(zhuǎn)。 這樣,通過(guò)控制3個(gè)電機(jī)實(shí)現(xiàn)了xy的移動(dòng)、θ軸旋轉(zhuǎn)的定位。  由于XYθ結(jié)構(gòu)的工作臺(tái)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,所以無(wú)論是國(guó)產(chǎn)還是其他都一樣。 核心部件是軌道和絲杠。 國(guó)產(chǎn)軌道絲杠的精度和耐磨性沒(méi)有日本和瑞士好,所以是的。 UVW結(jié)構(gòu)的平臺(tái)和5M結(jié)構(gòu)的加工和組裝難度直線上升,其中區(qū)別可以是幾千字。

 

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