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超聲波霧化模塊MSK-SP-01A（含130W的電源控制器和噴頭）
產品簡介：VTC-100-SE基本型桌面式噴膠機是一種滿足半導體TSV、MEMS、WLP等工藝制程中異形表面的噴膠作業設備。是一種采用高精度微量液體平流傳輸和超聲波霧化震蕩技術均勻噴涂在一定溫度的物件表面，多次沉積成均勻涂層膜的納米噴膠設備。VTC-100-SE基本型桌面式噴膠機采用不銹鋼機身，桌面臺式設計，結構緊湊，七寸全彩觸屏界面，高精密電缸控制，整體設計布局合理，簡單易用。
產品名稱 | VTC-100-SE基本型桌面式噴膠機 |
主要特點 | 1、可臺面式操作，外形尺寸緊湊 2、超聲波霧化或二流體霧化噴嘴可選 3、底盤旋轉加熱，XY電缸移動式噴膠 4、可處理大基片尺寸為8寸晶圓，向下兼容 |
技術參數 | 1、熱盤溫控范圍：室溫—150℃，溫度分辨率：0.1℃ 2、溫度均勻性：小于±1％（工作范圍內） 3、膠體流速范圍：1-20ml/min 4、電缸移動速度：1-200㎜/s 5、電缸定位精度：±0.02㎜ 6、電缸有效行程：300×300㎜ 7、超聲波霧化粒徑：小于50μm |
產品規格 | 外形尺寸：928（W）×800（D）×510（H）㎜ |
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