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詳細介紹

用于實現至高精度的測量機

XENOS可在各類要求高測量精度的領域使用——從科研機構的測量實驗室、航空和航天工業直至光學工業。這一測量機的測量精度較高，其測量范圍近1立方米。

XENOS于Y軸向配備雙線性驅動系統，得益于蔡司的驅動技術可實現優異的同步控制。該技術可據X軸位置分布驅動力。作為控制系統及算法之結合，這是在整個測量范圍內獲得優異的測量精度及運動穩定性的關鍵因素

XENOS的所有軸均采用線性驅動。其優點：高速、加速極快、定位精度高、驅動無剪切力影響。結合超高分辨率光柵尺技術，XENOS的線性驅動可獲得高度穩定性及低于100納米的定位精度。

例如，測針偏移量越恒定，即可獲得更佳的測量精度。于測量曲面時更顯見另一優勢：測針的移動路徑與預定值越吻合，即可實現越出色的精準性。

碳化硅陶瓷

XENOS在與精度密切相關的機器部件上采用創新的碳化硅陶瓷材料。迄今為止，該材料從未在類似產品或精度的測量機器上得到使用。

與常規陶瓷相比，碳化硅陶瓷的熱膨脹性降低約50%，而剛性則可提升30%，同時減重20%。與鋼材相比，碳化硅陶瓷重量降低50%而竟仍可獲得兩倍的剛性。

機械設計的創新

XENOS采用了全新的機械設計理念。與標準橋式測量機不同：Y導軌分布于側壁頂部，分離式移動行程軸僅橫梁于Y軸方向移動，更小及恒定的移動重量——與移動式平臺相比堪稱真正的優勢。更低及恒定的移動重量造就了加速及高速的統一。

電子設計改進

通過全新的電子電路的設計從而使電路對產品的測量精度明顯提高，

通過計算機輔助精度修正法（caa）和特殊附加caa修正使的產品測量精度顯著提高并在測量過程中扮演者作用日趨重要