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NanoFocus | 半導體晶圓檢測設備(人工裝載)

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  • 型號 µsprint hp-hsi 2000
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  • 廠商性質 代理商
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更新時間:2023-02-09 11:12:46瀏覽次數:526

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產品簡介

NanoFocus | 半導體晶圓檢測設備(人工裝載)

詳細介紹

NanoFocus半導體晶圓檢測設備(人工裝載)產品參數



分辨率

X & Y軸: 0.5-2.5um;

Z軸:0.016 um;

取樣率

20000 Hz

工作距離

8 mm

掃描寬度

630 um

高度范圍

300 um – 400 um

機臺尺寸

400mm x 400mm(可定制)



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