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表面形狀粗度測定機DSF900產品參數
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| Z分解能/測定范圍 | 0.0075um/12mm 0.015um/24mm |
|---|---|
| Z檢出方式 | 半導體雷射軸標 |
| 觸針/測定力/針尖角度 | R2um/0.75mN/60° R25um/10mN/25° |
| 解析項目 | 形狀解析（要素、方位向量、統計量、MASTER比較、公差判定） 表面粗度(JIS、ISO、DIN、ANSI、BS) 表面波紋(JIS) |
| 測定范圍 | X:100mm |
| 直線度精度 | 0.4um/100mm |
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