詳細介紹
NanoFocus半導體探針卡檢測設備產品參數
分辨率 | X & Y軸: 0.5-5.1um; |
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Z軸:0.016 um; | |
取樣率 | 8000 Hz |
工作距離 | 8 mm |
掃描寬度 | 630 um |
高度范圍 | 300 um – 400 um |
機臺尺寸 | 300mm x 300mm(可定制) |