§ 產品簡介：

nanoETCH刻蝕機是英國MOORFIELD公司與英國曼徹斯特大學“諾貝爾獎"石墨烯團隊共同開發的一款采用“軟刻蝕"技術等離子體刻蝕機，該技術大的特色是等離子體的功率低，分辨率高，功率低可達10mV，主要用于刻蝕二維材料石墨烯等，刻蝕精度高，高重復性號，刻蝕超薄樣品無污染與殘留物，可避免傳統刻蝕機造成樣品的損傷與污染，有多篇Science 與Nature的文章里采用了該設備，是從事二維材料研究用戶的理想選擇。

§ 產品特性：

? 對基底材料無損傷

? 無殘留污染

? RF輸出功率低至30W

? RF輸出功率分辨率低至10mW

? 多支持3通道MFC氣體控制，含Ar，O₂

? 通過觸控屏全自動進行刻蝕

? 真空度低至<5 × 10-7 mbar

? 全自動壓力控制

? 可自定義刻蝕程序并具有儲存功能

? 維護簡單

? 操作及其安全，有各種安全保護裝置

? 兼容超凈間

§ 主要技術參數：

? RF功率:低至30W

? RF功率分辨率:低至30W

? 樣品臺：標準3"，大支持6"

? 2通道MFC氣體控制，Ar，O_2，多支持3通道MFC氣體控制

? 壓力控制分辨率：1mTorr

? 真空度：<5 × 10-7 mbar

§ 產品應用：

? 機械剝離基體預處理，提高基體的尺寸與粘附力

? 二維材料刻蝕: 軟刻蝕技術可進行pattern刻蝕，

? 缺陷工程與處理

§ 典型用戶

? the University of Exeter(UK)

? the University of Manchester(UK)

? ICFO – The Institute of Photonic Sciences ( Spain)

? the University of Cambridge and Nokia Research Centre (UK)

§ 典型論文：

1, Vertical field-effect transistor based on graphene–WS2 heterostructures for flexible and transparent electronics, Georgiou, T., et al. Nature Nanotechnology, 2012.

2, Chaotic dirac billiard in graphene quantum dots, Ponomarenko, L. A., et al. Science , 2008.

3, Detection of individual gas molecules adsorbed on grapheme, Schedin, F., et al. Nature Materials 2007.

4, Graphene-based mid-infrared room-temperature pyroelectric bolometers with ultrahigh temperature coefficient of resistance, Sassi, U., et al. Nature Communications, 2017.

§ 石墨烯生成設備請參考：nanoCVD-8G石墨烯化學氣相沉積系統