ZYGO Verifire? XPZ型號(hào)激光干涉儀可以為光學(xué)元器件的平面、球面面形和透射波陣面提供快速、高精度干涉測(cè)量，配合功能強(qiáng)大的MetroPro®軟件可以獲得高重復(fù)性和高精度的測(cè)量結(jié)果。

Verifire?XPZ運(yùn)用精QUE相位調(diào)制技術(shù)對(duì)樣件的細(xì)微面形進(jìn)行精密測(cè)量，具有很高的精que度和重復(fù)性。測(cè)量時(shí)對(duì)干涉腔長(zhǎng)進(jìn)行**調(diào)制，同時(shí)640 x 480 像素CCD進(jìn)行數(shù)據(jù)采集獲取多個(gè)條紋圖像，由MetroPro®軟件分析計(jì)算。

可以測(cè)量玻璃或者塑料光學(xué)元件，如：平面、透鏡、棱鏡；還有精密合金件、電腦磁盤、軸承和封接面；拋光件、陶瓷、*等。在過去的三十多年，我們的干涉儀是世界各地計(jì)量設(shè)備的優(yōu)選。