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因為壓縮空氣會蔡司三坐標測量機的正常運行起著相當重要的效果，所以對氣路的維修和保養相當重要；德國蔡司蔡司三坐標代理商-一測精密總結出一下幾點重要步驟：
　　1、每一天使用三坐標測量機前檢驗管道和過濾器，把過濾器和空壓機或者儲氣罐中的水和油放掉。
　　2、普通3 個月要擦洗隨機過濾器和前置過濾器的濾芯。周圍空氣越不好，擦洗周期就要越短。因為過濾器的濾芯在過濾油和水的同時自身也被油污染阻塞，時辰稍長就會使測量機實際工作氣壓降低，影響測量機正常運行。必須要定期擦洗過濾器濾芯。
　　3、每一天都要擦拭導軌油污和塵土，維持氣浮導軌的正常運行狀態。
　　4、對蔡司三坐標測量機導軌的防護
　　測量機的導軌是蔡司三坐標測量機的基準，唯有保養好氣浮塊和導軌才能保障測量機的正常運行。測量機導軌的保養除去要經經常用酒精和脫脂棉擦拭外，還要注意不要直觀在導軌上擺放零配件和工具。特別是花崗石導軌，因其質地比較脆，所有小的磕碰會導致碰傷，若是未抓緊時間發現，碎渣就會傷害氣浮塊和導軌。要養成優良的工作習慣，用布或膠皮墊在下邊，保障導軌安全。工作結束后或上零配件結束后要擦拭導軌。
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