儀器特點(diǎn)：

1. 主體顯微鏡配有多種目鏡和物鏡，視場(chǎng)大，成像清晰；

2. 采用數(shù)字高精密光柵尺作為計(jì)數(shù)系統(tǒng)基礎(chǔ)元件；

3. 電腦控制測(cè)量，*的軟件數(shù)值計(jì)算系統(tǒng)，測(cè)量速度快，可同步打印出數(shù)據(jù)結(jié)果和圖形；

4. 顯微鏡鏡頭可左右偏擺，有利于測(cè)量螺旋零件；

5. 雙光束干涉條紋測(cè)量法，使數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)性能大幅提高，數(shù)據(jù)圖像可儲(chǔ)存，可追溯性強(qiáng)；

儀器用途：

1. 可測(cè)量成型零件如樣板、樣板車(chē)刀、樣板銑刀、沖模和凸輪的形狀；

2. 可測(cè)量外螺紋（螺紋塞規(guī)、絲桿和蝸桿等）的中徑、小徑、螺距、牙型半角；

以及齒輪滾刀的導(dǎo)程、齒形和牙型角；

3. 測(cè)量精密電路板、精密PCB電路板、精密沖壓板、鉆模或孔板上的孔的位置度，鍵槽的對(duì)稱(chēng)度等形位誤差；

4. 適用航空航天，*企業(yè)，電動(dòng)汽車(chē)制造業(yè)、精密模具制造，精密滾珠絲桿，計(jì)量長(zhǎng)度室、計(jì)量檢查站，高等院校、科研院所等。

規(guī)格參數(shù)：

1. 測(cè)量范圍：

X向行程：200㎜                  圓工作臺(tái)直徑：φ213㎜

Y向行程：100㎜                  平工作臺(tái)尺寸（㎜）：260×270

2. 測(cè)角目鏡角度分劃范圍：360°

3. 頂針的大夾緊長(zhǎng)度：700㎜螺紋輪廓目鏡角度分劃范圍：±7°

4. 頂針間能容納的大直徑：φ100㎜圓工作臺(tái)角度分劃范圍：0°~360°

5. 高頂針架大夾緊長(zhǎng)度：200㎜圓分度頭角度分劃范圍：0°~360°

6. 高頂針架能容納的大直徑：φ250㎜

7. 主顯微鏡立柱的傾斜范圍：±12干涉狹縫旋轉(zhuǎn)范圍：±90°

8. 分度值：

X、Y向分度值：0.0002㎜             圓工作臺(tái)角度分度值：30″

測(cè)角目鏡角度分度值:1′                圓分度頭角度分度值：1′

輪廓目鏡角度分度值：±12           主顯微鏡立柱傾斜角度分度值：30′

9. 測(cè)量準(zhǔn)確度（被測(cè)件與儀器溫度差別不大于0.5℃,儀器室內(nèi)溫度20℃±1℃）：(1+L/100)μm，其中L為測(cè)量長(zhǎng)度，單位：㎜

3.10物鏡放大率，工作距離及視場(chǎng)直徑：

11. 儀器主機(jī)外形尺寸(㎜)長(zhǎng)×寬×高=1300×1250×800

12. 儀器主機(jī)重量：450㎏