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詳細介紹
精密損耗精度
除了高速、高精度、高剛性、低發熱性和高可靠性，還實現了精密損耗精度
- 研磨主軸：20nm/SPAM
- 工作主軸：5nm/SPAM (*1)
(*1) 通過“單點異步誤差運動”方法測量?
考慮生態環境
高精度空氣靜力軸承主軸配有多孔限流器，可實現穩定化和精致的加工表面，多孔限流器大大減少了空氣消耗，本公司根據慣例實現了 1/6 比率的空氣消耗量，因此，有利于節能減排。
高可重復性，高加工效率
超低摩擦力導軌整合了本公司的原創高研磨技術和精選高精度軋輥，對納米范圍進給速率響應度高，消除了逆向進給的延遲。該導軌系統的剛性和穩定性高于靜液壓/空氣靜力軸承導軌，但精度能保持相似。
考慮生態環境和空間節省
沒有靜態導軌常見的流體溫度波動，確保了穩定的精度，同時無需使用液壓裝置之類的設備，即節省空間又節省能源。
優化的設計
在考慮性價比的前提下，針對每種機器類型和軸優化設計了滾珠螺桿驅動系統和線性馬達驅動系統。
考慮高精致加工
通過采用滾珠螺桿驅動系統，我們開發并利用*的耦合器，解決了滾珠螺桿旋轉所造成的常見應力和振蕩問題。
| 型號 | ULC- | |
| 直線行程 | X 軸 (mm) | 300 |
| Y 軸 (mm) | 25 | |
| Z 軸 (mm) | 150 | |
| 編程 | 1 | |
| 大 | X、Z：500 | |
| 工作主軸 | 旋轉速度 | 0-1500 |
| 真空吸盤 | π100 | |
| C 軸功能 | - | |
| 研磨主軸速度 (min-1) | - | |
| B 軸車削 | 進給速率 | - |
| 編程 | - | |
| 軸結構，括號 () 中的軸是配件。 | X 軸，Y 軸，Z 軸 | |
| 可選配件 | 噴霧冷卻劑供應裝置、 |
?
| 型號 | ULG- 100E(HY) | ULG- 100D(HYS) | ULG- 100D(HYB) | |
|---|---|---|---|---|
| 直線行程 軸 | X 軸 (mm) | 220 | 300 | 300 |
| Y 軸 (mm) | 20 | 25 | 25 | |
| Z 軸 (mm) | 150 | 150 | 150 | |
| 編程 分辨率 (nm) | 1 | |||
| 大 進給速率 (mm/min) | X、Z：500 Y： 300 | |||
| 工作主軸 | 旋轉速度 (min-1) | 0-1500 | ||
| 真空吸盤 直徑 (mm) | π100 | |||
| C 軸功能 | 配件 | 標配 | ||
| 研磨主軸速度 (min-1) | 5000-40000 | 10000- 60000 | ||
| B 軸車削 工作臺 | 進給速率 （度/分鐘） | - | 0-1080 | |
| 編程 分辨率（度） | - | 0.0001 | ||
| 軸結構，括號 () 中的軸是配件。 | X 軸，Y 軸，Z 軸 (C 軸) | X 軸、Y 軸、Z 軸、B 軸、C 軸 | ||
| 可選配件 | 冷卻劑供應裝置、噴霧冷卻劑供應裝置、*架、 對稱非球面表面加工軟件、 非對稱非球面表面加工軟件 (*1) 和 PC、 集霧器等 |
(*1) ULG-100A(HY) 和 ULG-100D(HYS) 不提供非對稱非球面表面加工軟件。
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| 型號 | ULG- 100D(H3) | ULG- 100D(5A) | |
|---|---|---|---|
| 直線行程 軸 | X 軸 (mm) | 300 | 450 |
| Y 軸 (mm) | 100 | 100 | |
| Z 軸 (mm) | 150 | 150 | |
| 編程 分辨率 (nm) | 1 | ||
| 大 進給速率 (mm/min) | X 軸，Y 軸，Z 軸： 500 | ||
| 工作主軸 | 旋轉速度 (min-1) | 0-1500 | |
| 真空吸盤 直徑 (mm) | π100 | ||
| C 軸功能 | 標配 | ||
| 研磨主軸速度 (min-1) | 5000- 40000 | 10000- 60000 | |
| B 軸車削 工作臺 | 進給速率 （度/分鐘） | - | |
| 編程 分辨率（度） | - | ||
| 軸結構，括號 () 中的軸是配件。 | X 軸、Y 軸、Z 軸、C 軸 | X 軸、Y 軸、Z 軸、B 軸、C 軸 | |
| 可選配件 | 冷卻劑供應裝置、噴霧冷卻劑供應裝置、*架、 對稱非球面表面加工軟件、 非對稱非球面表面加工軟件和 PC、 集霧器等 |
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