蔡司三坐標(biāo)ZEISS XENOS長度測量誤差E00.3 + L/1,000 μm。

測量范圍XYZ9/15/79001,500700機(jī)械設(shè)計XENOS采用了機(jī)械設(shè)計理念。

可選用的軟件：CALYPSO GEAR PRO
可選用的探測頭：VAST gold

機(jī)械設(shè)計
XENOS采用了機(jī)械設(shè)計理念。與標(biāo)準(zhǔn)橋式測量機(jī)不同：Y導(dǎo)軌分布于側(cè)壁頂部，分離式移動行程軸僅橫梁于Y軸方向

移動，更小及恒定的移動重量——與移動式平臺相比堪稱實在的優(yōu)勢。更低及恒定的移動重量造就了加速及高速的統(tǒng)一。

所有軸均采用線性驅(qū)動
XENOS的所有軸均采用線性驅(qū)動。其優(yōu)點：高速、加速超快、定位精度高、驅(qū)動無剪切力影響。結(jié)合高分辨率光柵尺

技術(shù)，XENOS的線性驅(qū)動可獲得高度穩(wěn)定性及低于100納 米的高定位精度。例如，測針偏移量越恒定，即可獲得測量

精度。于測量曲面時更顯見：測針的移動路徑與預(yù)定值越吻合，即可實現(xiàn)的準(zhǔn)確性。

優(yōu)化的氣浮軸承

強(qiáng)化處理氣浮軸承具有優(yōu)異的穩(wěn)定性及測量精度。

長度測量誤差E0

0.3 + L/1,000 μm

測量范圍