機床商務網
詳細介紹
378系列--半導體檢測用顯微鏡FS-70的特點
1.此光學系統初是為的FS60型（后升為FS70型）而開發的。它作為測量檢測半導體器件的顯微鏡是很理想的。
2.FS70L支持3種YAG激光波（1064nm，532nm,355nm)，FS70L4支持2種波長（532nm,266nm），可在半導體和液晶基板中使用激光切割和薄膜技術。這就擴大了激光的使用范圍。然而，使用三豐量具對顯微鏡的激光穖的性能和安全性，三豐公司不負責任。我們*在選購激光發射器時應仔細檢查。
3.FS70Z的標準功能有：亮視場，微分干涉對比（DIC）和偏振觀測。FS70L和FS70L4不支持DIC。 4.使用內置式轉換器使得長工作距離物鏡的操作很簡單。
5.易操作的設計：FS70采用正像光學系統（視場中的像與樣品方向相同）并用橡膠把手加大微調手輪。
378系列--半導體檢測用顯微鏡FS-70的性能參數
型號 | FS-70 | FS70-TH | FS70Z | FS70Z-TH | FS70L | FS70L-TH | FS70L4 | JS70L4-TH |
貨號 | 378-184-1 | 378-184-3 | 378-185-1 | 378-185-3 | 378-186-1 | 378-186-3 | 378-187-1 | 378-187-3 |
短基座型號 | FS70-S | FS70-THS | FS70Z-S | FS70Z-THS | FS70L-S | FS70L-THS | FS70L4-S | FS70L4-THS |
貨號 | 378-184-2 | 378-184-4 | 378-185-2 | 378-185-4 | 378-186-2 | 378-186-4 | 378-187-2 | 378-187-4 |
對焦 | 50mm行程，同心焦距粗調（3.8mm/rev)和微調（0.1mm/rev)手輪（左、右0） | |||||||
圖像 | 正像 | |||||||
瞳距 | Siedentopf型、調節范圍 | |||||||
視場數 | 24 | |||||||
俯角 |
| 0°至20° |
| 0°至20° |
| 0°至20° |
| 0°至20° |
透過率 | 50/50 | 100/0或0/100 | 50/50 | 100/0或0/100 | 100/0或0/100 | 100/0或0/100 | 100/0或0/100 | 100/0或0/100 |
管鏡頭 |
| 內置激光射線濾光片 | ||||||
適用激光 | 1× | 1× | 1× | 2×zoom | 1× | 1× | 1× | 1× |
適用激光 |
|
|
|
| 1064/532/355mm | 532/355mm | ||
相機端口 | C-mount(使用適配器B選件） | 使用帶有電視端口的激光片 | C-mount插座（帶有綠色濾光片轉換開關） | |||||
照明系統、可選 | 亮視場反射照明（科勒照明、帶光圈） 12V 100W光纖、無亮度調節、光導長度：1.5m、功耗150W | |||||||
物鏡、可選 | M Plan Apo,M Plan Apo SL, G Plan Apo | |||||||
物鏡、可選 |
|
|
|
| M/LCD Plan NIR M/L CD Plan NUV | M Plan UV | M Plan UV | |
載重 | 14.5kg | 13.6kg | 14.1kg | 13.2kg | 14.5kg | 13.6kg | 14.1kg | 13.2kg |
重量（主機） | 6.1kg | 7.1kg | 6.6kg | 7.5kg | 6.1kg | 7.1kg | 6.6kg | 7.5kg |
378系列--半導體檢測用顯微鏡FS-70的技術參數
對焦
方法：有同心粗調和微調手輪（左和右）
范圍：50mm測量范圍，微調0.1mm/rev同心粗調3.8mm/rev
三目鏡筒圖像：正像
瞳距：Siedentopf型
調節范圍：51-76mm
視場數：24
俯角：0°-20°(僅用于-TH，THS型號）
照明系統：亮視場反射照明（科勒照明、帶光圈）
光源：12V100W光纖、無亮度調節 ），光導長度1.5m、功耗150W
物鏡（選件）：M Plan Apo, M Plan Apo SL, G Plan Apo
機床商務網