詳細介紹
項 目 | TESA-HITE | |
| 400 | 700 |
|
|
|
應用范圍(mm) | 0~415 | 0~715 |
允許誤差(um | 2.5+4L/1000 | |
重復性(2σ)(um) | 平面上:≤2; 孔內:≤3 | |
正面垂直度誤差(um) | 9 | 13 |
分辨率(mm) | 0.01/0.001/0.0001 | |
是否帶氣浮 | 一維測量帶氣浮,5um以內測垂直度 |